[发明专利]一种组合传感器和电子设备在审
申请号: | 202310630491.7 | 申请日: | 2023-05-30 |
公开(公告)号: | CN116573606A | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 齐利克;周中恒;闫文明 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子股份有限公司 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81B7/00 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 李郎平 |
地址: | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 组合 传感器 电子设备 | ||
1.一种组合传感器,其特征在于,包括:
PCB和外壳,所述外壳固定在所述PCB的一侧,并与所述PCB形成第一腔室;
第一ASIC芯片和第一MEMS芯片,所述第一ASIC芯片埋设于所述PCB内层,所述第一MEMS芯片设置于所述PCB上,并位于所述第一腔室内,所述第一ASIC芯片和所述第一MEMS芯片连接;
第二ASIC芯片和第二MEMS芯片,所述第二ASIC埋设于所述PCB内层,所述第二MEMS芯片设置于所述PCB上,并位于所述第一腔室内,所述第二ASIC芯片和所述第二MEMS芯片连接。
2.根据权利要求1所述的组合传感器,其特征在于,还包括振动组件,所述振动组件设置于所述PCB上,并位于所述第一腔室内;
所述振动组件能够感测外部的振动信号,并通过所述第一ASIC芯片和第一MEMS芯片将所述振动信号转换为电信号输出。
3.根据权利要求2所述的组合传感器,其特征在于,所述振动组件包括内壳、支撑部、振膜和质量块;
所述支撑部设置于所述PCB上,所述内壳固定于所述支撑部上,且所述支撑部、所述内壳与所述PCB形成第二腔室;
所述振膜的边缘固定设置于所述内壳和所述支撑部之间,所述质量块设置于所述振膜上以使所述质量块悬置,所述振膜、所述质量块和所述第一MEMS芯片均位于所述第二腔室内。
4.根据权利要求3所述的组合传感器,其特征在于,所述第一ASIC芯片位于所述第一MEMS芯片的正下方。
5.根据权利要求3所述的组合传感器,其特征在于,所述支撑部和所述质量块采用黄铜、锌白铜或不锈钢材料制成。
6.根据权利要求3所述的组合传感器,其特征在于,所述质量块、振膜和所述支撑部之间分别通过胶水粘接固定。
7.根据权利要求1所述的组合传感器,其特征在于,所述外壳上设置有与外部连通的通气孔,所述第二MEMS芯片能够通过所述通气孔感测外部的气压信号,并通过所述第二ASIC芯片转换为电信号输出。
8.根据权利要求7所述的组合传感器,其特征在于,所述第二ASIC芯片位于所述第二MEMS芯片的正下方。
9.根据权利要求1所述的组合传感器,其特征在于,所述PCB内层设置有第一凹槽和第二凹槽,所述第一ASIC芯片和所述第二ASIC芯片分别粘接固定在所述第一凹槽和所述第二凹槽内。
10.一种电子设备,其特征在于,包括权利要求1-9任意一项所述的组合传感器。
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