[发明专利]一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统

说明书

本发明提供一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，涉及晶圆传送检测技术领域，所述半导体晶圆传送的环境检测预警系统包括：粉尘监测模块、环境采集模块、气流捕获模块以及终端处理器，所述粉尘监测模块用于对放置点范围内的粉尘进行数据监测，所述环境采集模块用于对环境监测点范围内的环境进行数据监测，所述气流捕获模块用于捕获机械臂移动后的气体流动影像，所述终端处理器包括：分析模块以及存储模块，本发明通过对机械臂移动后的气体流动影像进行分析，对半导体晶圆传送室内的粉尘以及环境进行精准监测，以解决现有的监测方法不够精准，预警不准确的问题。

技术领域

本发明涉及晶圆传送检测技术领域，尤其涉及一种晶圆传送环境检测预警系统。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，晶圆传送设备主要用于扩散工艺设备和槽式清洗设备上的晶圆批量传输，在现有的晶圆传送领域中，通常是基于固定的监测点对晶圆的传送环境进行监测，环境监测设备通常位于传送室的上方区域，对上方区域进行监测以达到对传送室进行环境监测，而传送室内因为机械臂的摆动，会导致空气流动从而使一定范围内空气中的粉尘浓度发生变化，采用现有的监测技术很难对变化区域或粉尘浓度过高的区域进行监测，现有的监测方法不够精准，预警不准确，鉴于此，有必要对现有技术中的半导体晶圆传送系统予以改进，以解决上述问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种晶圆传送环境检测预警系统，通过对机械臂移动后的气体流动影像进行分析，对半导体晶圆传送室内的粉尘以及环境进行精准监测，以解决现有的监测方法不够精准，预警不准确的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，所述检测预警系统包括粉尘监测模块、环境采集模块、气流捕获模块以及终端处理器，所述粉尘监测模块、环境采集模块以及气流捕获模块与终端处理器通讯连接；

所述粉尘监测模块包括空气滤膜、空气流量传感器、计时器以及称重器，所述空气滤膜用于过滤空气中的粉尘，所述空气流量传感器用于采集第一时间段内通过空气滤膜的气体流量，所述计时器用于计算粉尘监测模块运行的时间，所述称重器用于对空气滤膜采样前后的重量进行称重；

所述环境采集模块包括温度采集单元、湿度采集单元以及风速采集单元，所述温度采集单元用于检测空气中的温度，所述湿度采集单元用于检测空气中的湿度，所述风速采集单元用于检测空气中的风速；

所述气流捕获模块包括纹影仪，所述纹影仪用于获取机械臂移动后的气体流动影像；

所述终端处理器包括分析模块以及存储模块；

所述存储模块包括传送室空间参数以及机械臂移动参数，所述传送室空间参数包括：传送室的内部空间的长度、宽度以及高度，所述机械臂移动参数包括：机械臂从抓取位置到放置位置的移动路径；

所述分析模块包括存储数据分析单元、影像数据分析单元、监测数据分析单元以及预警分析单元，所述存储数据分析单元用于对传送室空间参数分析并搭建三维立体模型，对机械臂移动参数分析得到位置点，所述影像数据分析单元用于对纹影仪捕获的气体流动影像进行分析，得出最佳监测点，所述监测数据分析单元用于基于最佳监测点设置粉尘监测模块和环境采集模块的监测位置，对粉尘监测模块监测到的数据进行分析得到粉尘浓度值，对环境采集模块监测到的数据进行分析得到环境监测值；

所述预警分析单元用于对粉尘浓度值、环境监测值以及综合分析值进行比对分析，基于比对分析结果进行预警。

进一步地，所述监测数据分析单元配置有粉尘浓度算法，所述粉尘浓度算法配置为：；

其中，Dc为粉尘浓度值，m1为采样前的滤膜质量，m2为采样后的滤膜质量，Q为采样时间内通过空气滤膜的气体流量，t为采样时间。

进一步地，所述监测数据分析单元配置有环境分析算法，所述环境分析算法配置：；