[发明专利]发光装置及其制造方法

权利要求书

1.一种发光装置，包括：

第一光透射层；

第二光透射层，其设置在所述第一光透射层上；

多个台式结构，其设置在所述第二光透射层上，并且被配置为生成紫外波段中的光；以及

钝化图案，其设置在所述多个台式结构的侧表面上，

其中，所述多个台式结构中的每一个包括：

第一外延图案，其包括铝镓氮化物，

第二外延图案，其设置在所述第一外延图案上，并且包括铝镓氮化物，

第三外延图案，其设置在所述第二外延图案上，并且包括铝镓氮化物，以及

第四外延图案，其设置在所述第三外延图案上，并且包括氮化镓，并且

其中，所述多个台式结构中的每一个的水平宽度在5μm至30μm的范围内。

2.根据权利要求1所述的发光装置，其中，所述多个台式结构中的每一个的所述水平宽度小于或等于15μm。

3.根据权利要求1所述的发光装置，其中，所述多个台式结构中的相邻的台式结构之间的距离在5μm至30μm的范围内。

4.根据权利要求1所述的发光装置，其中，所述钝化图案中的每一个包括Al₂O₃。

5.根据权利要求1所述的发光装置，其中，所述钝化图案被配置为反射由所述第二外延图案生成的光中的具有大于所述第一光透射层与所述第二光透射层之间的界面的临界角的方向角的光。

6.根据权利要求1所述的发光装置，其中，所述钝化图案通过热氧化工艺形成。

7.根据权利要求1所述的发光装置，还包括被配置为覆盖所述钝化图案并且填充所述多个台式结构之间的空间的填充绝缘层。

8.根据权利要求7所述的发光装置，其中，所述填充绝缘层包括与所述钝化图案的材料不同的材料。

9.根据权利要求1所述的发光装置，还包括被配置为覆盖所述钝化图案并且填充所述多个台式结构之间的空间的反射电极层。

10.根据权利要求9所述的发光装置，其中，所述钝化图案介于所述多个台式结构之间，并且

其中，所述反射电极层与所述多个台式结构分离，所述钝化图案介于所述反射电极层与所述多个台式结构之间。

11.一种发光装置，包括：

第一光透射层，其包括蓝宝石；

第二光透射层，其包括氮化铝，并且设置在所述第一光透射层上；

第一外延层，其设置在所述第二光透射层上并且包括在第一方向上彼此分离开的多个第一外延图案；

多个第二外延图案，其设置在在所述第一方向上彼此分离开的所述多个第一外延图案上，并且包括多量子阱结构；

多个第三外延图案，其设置在所述多个第二外延图案上并且在所述第一方向上彼此分离开；以及

多个第四外延图案，其设置在所述多个第三外延图案上并且在所述第一方向上彼此分离开，

其中，所述多个第一外延图案中的每一个在所述第一方向上的宽度在5μm至30μm的范围内。

12.根据权利要求11所述的发光装置，其中，所述多个第一外延图案、所述多个第二外延图案、所述多个第三外延图案、以及所述多个第四外延图案中的每一个具有在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸的线形。

13.根据权利要求12所述的发光装置，还包括：

接触所述第一外延层的接触层，

其中，所述接触层包括：

接触所述电极层的焊盘部分，以及

连接至所述焊盘部分的分支，

其中，所述分支介于所述多个第一外延图案之间，并且

其中，所述分支中的每一个具有在所述第二方向上延伸的线形。