[实用新型]晶圆取放片用定心机构

说明书

晶圆取放片用定心机构，属于半导体制造设备技术领域，由托板、安装板、推杆、顶杆和弹簧连接构成，托板的顶端连接设有前端定位销，安装板连接固定在托板的底部，顶杆连接固定在推杆的顶部，顶杆上连接设有后端定位销，弹簧套置在推杆上，在推杆的往复移动下，带动顶杆上下运动，通过前端定位销和后端定位销实现定心夹紧，从而完成晶圆片的取放。夹持过程中晶圆不会滑脱，夹持稳定性得到了提升；顶杆在弹簧力的作用下复位较快，提高了晶圆取放效率；晶圆片在托板中形成了定心，在花篮中的对中精度得到了提升，减少了晶圆破损情形，减少了晶圆废品率。

技术领域

本实用新型属于半导体制造设备技术领域，涉及一种晶圆加工用辅助机构，具体的说是涉及一种晶圆取放片用定心机构。

背景技术

在现代半导体制造技术中，晶圆片的清洗是贯穿工艺制造流程中必不可少的关键工序，晶圆片表面的洁净度也直接影响着半导体器件的质量。清洗工序是将晶圆放入清洗花篮(简称为放片)，然后将花篮放入清洗液内浸泡，去除晶圆表面脏污。清洗完之后再将晶圆从花篮内取出(简称为取片)。清洗过程中，多片晶圆需要放置在同一个晶圆花篮中进行批量处理，通常一个花篮放置25片晶圆。目前取放片的操作方式是用镊子夹住晶圆边缘，放入花篮和从花篮中取出，目前的晶圆花篮并没有定心功能，晶圆片在花篮内是自由状态，每一片晶圆的中心都存在偏差，由于晶圆具有易碎的特点，当晶圆中心偏移较大时，晶圆容易和花篮卡槽周边发生碰撞、挤压，造成晶圆破碎，产生损失。

实用新型内容

本实用新型针对传统晶圆取放片作业方式中存在中心偏移较大，导致晶圆片与花篮发生碰撞、挤压，造成晶圆破损等不足，提出晶圆取放片用定心机构，可提高晶圆片在花篮中的对中精度，减少晶圆破损情形，从而减少废品概率。

本申请提供的晶圆取放片用定心机构采用如下技术方案：

晶圆取放片用定心机构，包括托板；其特征在于：所述定心机构还由安装板、推杆、顶杆和弹簧连接构成，所述托板的顶端连接设有前端定位销，所述安装板连接固定在所述托板的底部，所述顶杆连接固定在所述推杆的顶部，所述顶杆上连接设有后端定位销，所述弹簧套置在所述推杆上，在所述推杆的往复移动下，带动顶杆上下运动，晶圆片置于所述托板上，通过所述前端定位销和后端定位销实现定心夹紧，从而完成晶圆片的取放。

通过采用上述技术方案，取片时，由外部气缸推动推杆，推杆带动顶杆向上移动，此时弹簧被压缩，晶圆片被前端定位销和后端定位销形成定心夹紧；放片时，外部气缸停止工作，推杆在弹簧的复位作用下，带动顶杆向下移动，松开对晶圆片的夹紧。

进一步的，所述托板中部设有V型槽结构，V型槽的槽形角a≥15°。

通过采用上述技术方案，V字型结构的托板，可使托板方便的进出晶圆花篮，以便实现晶圆片的取放。

进一步的，所述托板底部设有第三滑槽，第三滑槽为开口槽，且开口向下；所述第三滑槽的两侧设有第一滑槽，第一滑槽为封闭槽。

通过采用上述技术方案，第三滑槽的设置，有利于对顶杆运动进行导向，也提高顶杆运动的稳定性；第一滑槽的设置，有利于后端定位销在槽中的导向移动。

进一步的，所述安装板中部设有第二滑槽，第二滑槽的内壁上设有限位块。

通过采用上述技术方案，第二滑槽的设置有利于对推杆运动进行导向，也提高了推杆运动的稳定性，限位块的设置可以对顶杆进行向下移动的轴向限位，可以对弹簧压缩时进行轴向限位。

进一步的，所述推杆为螺纹杆，螺纹杆上连接设有锁紧螺母，所述弹簧设置在限位块和锁紧螺母之间。

通过采用上述技术方案，锁紧螺母的设置可调节弹簧的预紧力，一方面可以对顶杆向上运动时起到缓冲作用，以防止对晶圆片定心时造成冲击形成破损，另一方面可以实现推杆的快速复位。