[实用新型]一种晶圆解胶装置及划片机

权利要求书

1.一种晶圆解胶装置，其特征在于，包括：

工作台(1)，被配置为承载晶圆(200)中间的减薄区域，以使所述晶圆(200)外周上的支撑环(201)伸出所述工作台(1)；

解胶灯(2)，位于所述工作台(1)的下方；以及

均光片(3)，位于所述解胶灯(2)和所述支撑环(201)之间，被配置为将所述解胶灯(2)发射的解胶光线均匀朝向所述支撑环(201)背面粘贴的保护膜(300)射出。

2.根据权利要求1所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述解胶灯(2)包括多个沿第一方向间隔排布的管形解胶灯(21)，并且所述管形解胶灯(21)沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

3.根据权利要求1所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述解胶灯(2)包括多个管形解胶灯(21)，多个所述管形解胶灯(21)依次首尾连接在所述工作台(1)的下方与所述支撑环(201)正对设置。

4.根据权利要求1所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述晶圆解胶装置还包括：

聚光片(4)，位于所述均光片(3)和所述支撑环(201)之间，被配置为将所述均光片(3)均光后的光线汇集照射在所述支撑环(201)背面粘贴的保护膜(300)上。

5.根据权利要求4所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述聚光片(4)为凸透镜。

6.根据权利要求1～5任一项所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述均光片(3)朝向所述解胶灯(2)的入光面设置有多个微透镜(31)，多个所述微透镜(31)呈阵列排布。

7.根据权利要求1～5任一项所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述均光片(3)朝向所述解胶灯(2)的入光面阵列排布有多个微透镜(31)，所述均光片(3)朝向所述支撑环(201)的出光面也阵列排布有多个微透镜(31)。

8.根据权利要求1～5任一项所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述均光片(3)朝向所述解胶灯(2)的入光面间隔开设有多个光线收集凹点(32)。

9.根据权利要求1～5任一项所述的晶圆解胶装置，其特征在于，所述解胶灯(2)为UV灯。

10.一种划片机，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的晶圆解胶装置。