[实用新型]排线装置及半导体制造设备

说明书

本实用新型提供一种排线装置及半导体制造设备，涉及半导体制造技术领域。该排线装置包括托架和排线组件，托架包括承托体，排线组件包括多根并列排布的线缆和多个对线缆排布位置进行固定的线夹，多个线夹沿线缆的长度方向间隔排布，且位于第一端部的线夹作为固定线夹固设于承托体，与固定线夹相邻的线夹为主随动线夹，主随动线夹朝向承托体的一侧设有主随动磁铁，承托体朝向主随动线夹的一侧设有主固定磁铁，主固定磁铁与主随动磁铁位置相对应且磁极相同。该半导体制造设备包括运动模块、线缆台和上述排线装置。该排线装置中，线缆与托架接触摩擦产生的污染物颗粒量较小，能够确保周围环境的洁净度以及产品的质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种排线装置及半导体制造设备。

背景技术

半导体制造设备运行时，需要为硅片台和掩模台等载片台配备大量的信号线、功率线、气管和水管等线缆，载片台运动的过程中，线缆与载片台连接的一端会受到载片台的拖拽随其同步移动；为了减少线缆拖拽载片台对其运动精度造成的不良影响，现有技术中一般设置线缆台带动线缆随载片台同步移动，其中，线缆一般通过托架固定于线缆台，然而当线缆台与载片台的同步性无法保证时，线缆受到拖拽相对托架运动的过程中极易与托架发生接触摩擦，两者的接触摩擦会产生污染物颗粒，使得发尘量恶化，进而影响周围环境的洁净度以及产品的质量，造成产品良率下降。

实用新型内容

本实用新型的目的包括提供一种排线装置及半导体制造设备，以解决现有技术中线缆受到拖拽容易与托架接触摩擦而产生的污染物颗粒，使得发尘量恶化，而影响周围环境的洁净度以及产品的质量的技术问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种排线装置，包括托架和排线组件，所述托架包括承托体，所述排线组件包括多根并列排布的线缆和多个对线缆排布位置进行固定的线夹，多个所述线夹沿所述线缆的长度方向间隔排布，且位于第一端部的所述线夹作为固定线夹固设于所述承托体，与所述固定线夹相邻的线夹为主随动线夹，所述主随动线夹朝向所述承托体的一侧设有主随动磁铁，所述承托体朝向所述主随动线夹的一侧设有主固定磁铁，所述主固定磁铁与所述主随动磁铁位置相对应且磁极相同。

可选地，所述主随动磁铁为多块，多块所述主随动磁铁沿所述主随动线夹的长度方向间隔排布；所述主固定磁铁为多块，多块所述主固定磁铁与多块所述主随动磁铁一一对应。

可选地，所述固定线夹和所述主随动线夹以外的线夹中，所述线缆平铺于所述承托体时，位于所述承托体区域的线夹为次随动线夹，所述次随动线夹朝向所述承托体的一侧均设有次随动磁铁，所述承托体与所述次随动线夹相向的一侧设有次固定磁铁，所述次固定磁铁与所述次随动磁铁一一对应且磁极相同。

可选地，所述排线组件还包括沿所述线缆长度方向延伸的条形弹性件，所述固定线夹以外的其中一个线夹作为定型线夹，所述条形弹性件的第一端与所述固定线夹连接、第二端与所述定型线夹连接，且所述定型线夹与所述固定线夹之间存在其他线夹时，所述条形弹性件与相应的线夹对应连接。

可选地，所述条形弹性件至少为两个，其中一个所述条形弹性件位于所述线缆排布方向的第一侧，另一个所述条形弹性件位于所述线缆排布方向的第二侧。

可选地，所述条形弹性件为条形弹片，且所述条形弹片的宽度方向与所述线夹的长度方向一致。

可选地，所述条形弹性件朝向所述承托体的一侧设有辅助随动磁铁，所述承托体朝向所述条形弹性件的一侧设有辅助固定磁铁，所述辅助固定磁铁与所述辅助随动磁铁相对应且磁极相同。

可选地，所述托架还包括设于所述承托体相对两端的侧板，所述固定线夹位于两个所述侧板之间。

可选地，沿多个所述线夹的排布方向，位于第二端部的所述线夹为连接线夹，所述连接线夹连接有限位板，所述限位板位于线缆的一侧。