[实用新型]排线装置及半导体制造设备

权利要求书

1.一种排线装置，其特征在于，包括托架(100)和排线组件(200)，所述托架(100)包括承托体(110)，所述排线组件(200)包括多根并列排布的线缆(210)和多个对线缆(210)排布位置进行固定的线夹，多个所述线夹沿所述线缆(210)的长度方向间隔排布，且位于第一端部的所述线夹作为固定线夹(221)固设于所述承托体(110)；

与所述固定线夹(221)相邻的线夹为主随动线夹(222)，所述主随动线夹(222)朝向所述承托体(110)的一侧设有主随动磁铁(230)，所述承托体(110)朝向所述主随动线夹(222)的一侧设有主固定磁铁(130)，所述主固定磁铁(130)与所述主随动磁铁(230)位置相对应且磁极相同。

2.根据权利要求1所述的排线装置，其特征在于，所述主随动磁铁(230)为多块，多块所述主随动磁铁(230)沿所述主随动线夹(222)的长度方向间隔排布；所述主固定磁铁(130)为多块，多块所述主固定磁铁(130)与多块所述主随动磁铁(230)一一对应。

3.根据权利要求1所述的排线装置，其特征在于，所述固定线夹(221)和所述主随动线夹(222)以外的线夹中，所述线缆(210)平铺于所述承托体(110)时，位于所述承托体(110)区域的线夹为次随动线夹(223)，所述次随动线夹(223)朝向所述承托体(110)的一侧均设有次随动磁铁(240)，所述承托体(110)与所述次随动线夹(223)相向的一侧设有次固定磁铁(140)，所述次固定磁铁(140)与所述次随动磁铁(240)一一对应且磁极相同。

4.根据权利要求1-3任一项所述的排线装置，其特征在于，所述排线组件(200)还包括沿所述线缆(210)长度方向延伸的条形弹性件(250)，所述固定线夹(221)以外的其中一个线夹作为定型线夹(224)，所述条形弹性件(250)的第一端与所述固定线夹(221)连接、第二端与所述定型线夹(224)连接，且所述定型线夹(224)与所述固定线夹(221)之间存在其他线夹时，所述条形弹性件(250)与相应的线夹对应连接。

5.根据权利要求4所述的排线装置，其特征在于，所述条形弹性件(250)至少为两个，其中一个所述条形弹性件(250)位于所述线缆(210)排布方向的第一侧，另一个所述条形弹性件(250)位于所述线缆(210)排布方向的第二侧。

6.根据权利要求4所述的排线装置，其特征在于，所述条形弹性件(250)为条形弹片，且所述条形弹片的宽度方向与所述线夹的长度方向一致。

7.根据权利要求4所述的排线装置，其特征在于，所述条形弹性件(250)朝向所述承托体(110)的一侧设有辅助随动磁铁(260)，所述承托体(110)朝向所述条形弹性件(250)的一侧设有辅助固定磁铁(150)，所述辅助固定磁铁(150)与所述辅助随动磁铁(260)相对应且磁极相同。

8.根据权利要求1-3任一项所述的排线装置，其特征在于，所述托架(100)还包括设于所述承托体(110)相对两端的侧板(120)，所述固定线夹(221)位于两个所述侧板(120)之间。

9.根据权利要求1-3任一项所述的排线装置，其特征在于，沿多个所述线夹的排布方向，位于第二端部的所述线夹为连接线夹(225)，所述连接线夹(225)连接有限位板，所述限位板位于线缆(210)的一侧。

10.一种半导体制造设备，其特征在于，包括运动模块、线缆台和权利要求1-9任一项所述的排线装置，所述排线装置中，沿多个所述线夹的排布方向，位于第二端部的所述线夹与所述运动模块连接，所述托架(100)与所述线缆台连接。