[实用新型]一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱

说明书

本实用新型公开了一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱，包括箱体、预留腔、平台承板、竖板、传送带本体和视觉检测仪，所述箱体一侧靠近顶部处开设有预留腔，所述预留腔内底部设置有平台承板，所述平台承板顶部靠近中央处通过竖板安装有传送带本体，所述平台承板顶部两端均焊接有立板，所述立板顶端一侧通过固定座安装有第一伺服电缸，所述第一伺服电缸的动力输出端连接有位移板，所述位移板相靠近处靠近顶部和底部处均焊接有固定板，所述固定板之间通过转轴连接有导辊，所述预留腔内顶部焊接有顶板。该新型在检测时具备多组夹持结构，在对半导体芯片进行夹持时的稳固效果佳，适合广泛推广使用。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱。

背景技术

为了方便对半导体芯片表面进行视觉检测，所以用于检测的机箱是十分必要的。

专利号CN209591982U公开了一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，包括箱体，散热孔，指示灯，放置机构，观察窗，送料机构，万向轮和急停开关，本实用新型的放置机构，送料机构和指示灯的设置，松开翼形螺栓，将笔记本等外接设备放置在支撑板，移动调节板使其抵触外接设备，紧固翼形螺栓，使放置机构适用于不同宽度的外接设备，将键盘等放置在托盘上，便于操作人员进行外接设备的操作，提高用户的舒适度，将半导体晶圆放置在放置板上，箱体内的机械手通过送料口将半导体晶圆搬运到箱体内进行检测作业，保证检测装置平稳高效运行，指示灯通过导线与检测机构相连，指示灯的不同颜色对应检测机构的不同工作状态，便于操作人员及时了解检测装置的工作状态。

以往的设备机箱存在以下缺点：1、在检测时不具备多组夹持结构，在对半导体芯片进行夹持时的稳固效果不佳。为此，我们提出一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱，包括箱体、预留腔、平台承板、竖板、传送带本体和视觉检测仪，所述箱体一侧靠近顶部处开设有预留腔，所述预留腔内底部设置有平台承板，所述平台承板顶部靠近中央处通过竖板安装有传送带本体，所述平台承板顶部两端均焊接有立板，所述立板顶端一侧通过固定座安装有第一伺服电缸，所述第一伺服电缸的动力输出端连接有位移板，所述位移板相靠近处靠近顶部和底部处均焊接有固定板，所述固定板之间通过转轴连接有导辊，所述预留腔内顶部焊接有顶板，所述顶板顶部两侧均通过安装座安装有第二伺服电缸，所述第二伺服电缸的动力输出端连接有压板。

进一步地，所述立板内壁靠近所述第一伺服电缸两侧处均通过预留槽设置有导筒，所述导筒内套设有导杆，所述导杆端部与位移板一端焊接连接，通过导筒对导杆的限位导向作用，可以有效提升位移板在水平移动时的稳定性。

进一步地，所述顶板顶部靠近两组所述第二伺服电缸之间处通过固定槽安装有视觉检测仪，通过视觉检测仪方便对夹持后的半导体芯片进行视觉检测。

进一步地，所述箱体底部靠近拐角处均通过胶水固定有脚垫。

进一步地，所述顶板底部拐角处均焊接有支撑杆，所述支撑杆底部与平台承板顶部焊接连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱，第一伺服电缸在工作时方便带动位移板水平移动，利用导辊方便对半导体芯片两侧进行夹持，第二伺服电缸在工作时动力输出端方便带动压板下压，利用压板方便对半导体芯片顶部两侧进行夹持，本设备机箱在检测时具备多组夹持结构，在对半导体芯片进行夹持时的稳固效果佳。

附图说明

图1为本实用新型一种具有夹持机构的半导体检测设备机箱的整体结构示意图。