[实用新型]大硅片多容量湿式花篮结构

说明书

本实用新型公开了大硅片多容量湿式花篮结构，其技术方案要点是：包括两个端板，所述端板上开设有多个对称分布的第一插槽，所述第一插槽内安装有花篮齿杆，所述端板的边侧开设有两个对称的第二插槽，所述第二插槽内安装有加强芯棒，所述加强芯棒与所述花篮齿杆的表面上均设置有121个齿片，所述端板的边缘处分别设置有两个第一排水槽和第二排水槽，通过两个端板、四个花篮齿杆和两个加强芯棒的配合，有利于提高花篮的承载能力、结构强度和生产效率降低了花篮的损坏率，通过设置的121个齿片方便增加花篮上插装的硅片数量，减小花篮载体的使用数量，有利于降低加工的成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工领域，特别涉及大硅片多容量湿式花篮结构。

背景技术

硅片生产厂家为满足市场需求，不断扩大生产车间及提高生产产能，提高设备运行效率，尽量控制每个生产环节最大效率，从而确保行业内占有比例，由于硅片产能的提高，那就需要更多的硅片花篮载体。

在现有的湿式花篮载体中，硅片湿式花篮载体需要在产线中不停流转，满足生产需求，但承载体承载硅片数量有限，需要增加湿式花篮载体的数量，以满足加工需求，导致成本增加，以及湿式花篮载体的为设置有排水槽，导致硅片加工的时候，花篮端板在槽体内存在积液的问题，影响硅片的加工效率。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供大硅片多容量湿式花篮结构，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

大硅片多容量湿式花篮结构，包括两个端板，所述端板上开设有多个对称分布的第一插槽，所述第一插槽内安装有花篮齿杆，所述端板的边侧开设有两个对称的第二插槽，所述第二插槽内安装有加强芯棒，所述加强芯棒与所述花篮齿杆的表面上均设置有121个齿片，所述端板的边缘处分别设置有两个第一排水槽和第二排水槽。

通过采用上述技术方案，通过两个端板、四个花篮齿杆和两个加强芯棒的配合，有利于提高花篮的承载能力、结构强度和生产效率降低了花篮的损坏率，通过设置的121个齿片方便增加花篮上插装的硅片数量，减小花篮载体的使用数量，有利于降低加工的成本，同时可适用于各种硅片尺寸规格，匹配自动化加工设备的需求，端板的边缘处分别设置的两个第一排水槽和第二排水槽，在硅片加工的时候，使得液体快速排出，有效减少端板在槽体积液的问题，提高硅片的加工效率。

较佳的，所述加强芯棒的表面上设置有纳米氟层。

通过采用上述技术方案，加强芯棒上设置的纳米氟层具有较好的拒水拒油、耐腐蚀性能，提高加强芯棒的使用寿命。

较佳的，所述加强芯棒包括注塑层和碳纤维棒芯，所述注塑层包覆在所述碳纤维棒芯上，所述纳米氟层设置在所述注塑层的表面上。

通过采用上述技术方案，通过碳纤维棒芯大大提高了加强芯棒的结构强度和重量，提高使用的便捷性，注塑层包覆在碳纤维棒芯上，能够提高碳纤维棒芯的防护性能。

较佳的，所述加强芯棒与所述花篮齿杆的端面上均设置有螺纹孔，所述端板上螺纹连接有螺钉，所述螺钉的一端螺纹连接在所述螺纹孔内。

通过采用上述技术方案，通过端板上螺纹连接的螺钉，方便与加强芯棒和花篮齿杆的端面上设置的螺纹孔进行螺纹连接，使得加强芯棒和花篮齿杆能够牢牢固定在第一插槽与第二插槽内。

较佳的，所述加强芯棒与所述花篮齿杆的两端分别固定安装有限位环，所述限位环的表面上设置有多个防滑槽。

通过采用上述技术方案，通过限位环上设置的多个防滑槽，能够提高其防滑性能，在使用的时候能够减小转动角度，增大与端面表面的接触力度，方便对加强芯棒与花篮齿杆的位置进行限位，提高安装的便捷性。

较佳的，所述齿片的高度是8mm，且齿距是5.44mm。