[实用新型]一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，包括底座、清洗台、升降台、L型滑架和分流器：所述底座后端中间安装有第一电机，且底座内侧中间安装有第一滚珠丝杠，并且底座上端后侧安装有清洗液泵体，而且清洗液泵体上端后侧安装有清洗液接口；所述清洗台后端安装有第一液压缸，且清洗台后端内侧连接有第一伸缩杆，并且第一伸缩杆前端固定安装有推杆，而且推杆前端安装有防滑胶条，所述升降台左侧下端固定连接有第二伸缩杆，且第二伸缩杆下侧连接有第二液压缸，并且升降台前部内侧横向安装有导杆。该半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置上的喷头可以自动改变间距，从而可以清洗多种规格的托盘。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片托盘清洗技术领域，具体为一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置。

背景技术

半导体芯片是在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓(砷化镓有毒，所以一些劣质电路板不要好奇分解它)，锗等半导体材料。半导体也像汽车有潮流。二十世纪七十年代，因特尔等美国企业在动态随机存取内存(D-RAM)市场占上风,而在半导体芯片再加工的过程中需要使用托盘,托盘上设置有多个存放芯片的小空格,托盘在长期使用后,需要使用清洗装置对托盘进行清洗,但其清洗装置还是存在一定的缺陷；

现有的托盘清洗装置在清洗托盘上小格子的时候,都是用喷头使用清洗剂对小格子逐个进行清洗,但是所有的托盘规格并不是一致的,而喷头的位置又是固定的,这就使得一种清洗装置只能对应一种规格的托盘。

针对上述问题，急需在原有托盘清洗装置的基础上进行创新设计。

所以我们提出了一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，以解决上述背景技术提出现有的托盘清洗装置在清洗托盘上小格子的时候,都是用喷头使用清洗剂对小格子逐个进行清洗,但是所有的托盘规格并不是一致的,而喷头的位置又是固定的,这就使得一种清洗装置只能对应一种规格的托盘的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，包括底座、清洗台、升降台、L型滑架和分流器：

所述底座后端中间安装有第一电机，且底座内侧中间安装有第一滚珠丝杠，并且底座上端后侧安装有清洗液泵体，而且清洗液泵体上端后侧安装有清洗液接口；

所述清洗台后端安装有第一液压缸，且清洗台后端内侧连接有第一伸缩杆，并且第一伸缩杆前端固定安装有推杆，而且推杆前端安装有防滑胶条；

所述升降台左侧下端固定连接有第二伸缩杆，且第二伸缩杆下侧连接有第二液压缸，并且升降台前部内侧横向安装有导杆，而且升降台上端前侧安装有第二电机，同时升降台前侧安装有第二滚珠丝杠；

所述L型滑架后侧活动连接有导杆，且L型滑架下侧前端安装有喷头，并且L型滑架上侧前端安装有转轴导杆，而且转轴导杆前侧活动连接有限位框架；

所述分流器后端连接有送液管，且送液管下侧连接有清洗液泵体，并且分流器前端连接有输液软管，而且输液软管下侧连接有喷头。

优选的，所述清洗台下侧中间连接有第一滚珠丝杠，且第一滚珠丝杠后侧穿过底座与第一电机键连接，并且清洗台通过第一滚珠丝杠与底座形成滑动结构。

优选的，所述清洗台后端左右对称安装有两个第一液压缸，且第一伸缩杆后侧穿过清洗台与第一液压缸相连接，而且推杆通过第一伸缩杆与清洗台形成滑动结构。

优选的，所述底座上端左右对称安装有两个第二液压缸，且升降台左右两端对称安装有两个第二伸缩杆，并且升降台通过第二伸缩杆与底座形成升降结构。