[实用新型]一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置

权利要求书

1.一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，包括底座(1)、清洗台(4)、升降台(11)、L型滑架(13)和分流器(22)，其特征在于：

所述底座(1)后端中间安装有第一电机(2)，且底座(1)内侧中间安装有第一滚珠丝杠(3)，并且底座(1)上端后侧安装有清洗液泵体(19)，而且清洗液泵体(19)上端后侧安装有清洗液接口(20)；

所述清洗台(4)后端安装有第一液压缸(5)，且清洗台(4)后端内侧连接有第一伸缩杆(6)，并且第一伸缩杆(6)前端固定安装有推杆(7)，而且推杆(7)前端安装有防滑胶条(8)；

所述升降台(11)左侧下端固定连接有第二伸缩杆(10)，且第二伸缩杆(10)下侧连接有第二液压缸(9)，并且升降台(11)前部内侧横向安装有导杆(12)，而且升降台(11)上端前侧安装有第二电机(16)，同时升降台(11)前侧安装有第二滚珠丝杠(17)；

所述L型滑架(13)后侧活动连接有导杆(12)，且L型滑架(13)下侧前端安装有喷头(15)，并且L型滑架(13)上侧前端安装有转轴导杆(14)，而且转轴导杆(14)前侧活动连接有限位框架(18)；

所述分流器(22)后端连接有送液管(21)，且送液管(21)下侧连接有清洗液泵体(19)，并且分流器(22)前端连接有输液软管(23)，而且输液软管(23)下侧连接有喷头(15)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，其特征在于：所述清洗台(4)下侧中间连接有第一滚珠丝杠(3)，且第一滚珠丝杠(3)后侧穿过底座(1)与第一电机(2)键连接，并且清洗台(4)通过第一滚珠丝杠(3)与底座(1)形成滑动结构。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，其特征在于：所述清洗台(4)后端左右对称安装有两个第一液压缸(5)，且第一伸缩杆(6)后侧穿过清洗台(4)与第一液压缸(5)相连接，而且推杆(7)通过第一伸缩杆(6)与清洗台(4)形成滑动结构。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，其特征在于：所述底座(1)上端左右对称安装有两个第二液压缸(9)，且升降台(11)左右两端对称安装有两个第二伸缩杆(10)，并且升降台(11)通过第二伸缩杆(10)与底座(1)形成升降结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，其特征在于：所述升降台(11)前侧左右对称安装有两个第二滚珠丝杠(17)，且第二滚珠丝杠(17)上侧穿过升降台(11)与第二电机(16)键连接，而且限位框架(18)左右对称连接有两个第二滚珠丝杠(17)，而且限位框架(18)通过第二滚珠丝杠(17)与升降台(11)形成升降结构。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，其特征在于：所述限位框架(18)内侧呈扇形等距分布有引导槽，且引导槽中活动连接有转轴导杆(14)，而且L型滑架(13)通过转轴导杆(14)与限位框架(18)形成滑动结构。

7.根据权利要求1所述的一种半导体芯片托盘自动清洗机自动清洗装置，其特征在于：所述升降台(11)前部内侧横向安装有两个导杆(12)，且L型滑架(13)后侧活动连接有两个导杆(12)，而且L型滑架(13)通过导杆(12)与升降台(11)形成滑动结构。