[实用新型]一种高频大功率晶圆片划线剥离设备

权利要求书

1.一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，包括固定座(1)，其特征在于，所述固定座(1)的上表面固定连接有支撑柱(2)，支撑柱(2)的顶端固定连接有第一电机，第一电机输出轴的一端固定连接有转动板(3)，转动板(3)的上表面贯穿插接有两个滑柱(4)，滑柱(4)的底端固定连接有吸盘(5)，且吸盘(5)和转动板(3)之间固定连接有弹簧(6)，所述转动板(3)的上表面固定连接有支撑杆(7)，支撑杆(7)的顶端活动连接有压板(8)，压板(8)的底部开设有滑槽，滑槽内活动连接有滑块(9)，所述转动板(3)的上表面嵌接有电动推杆(10)，电动推杆(10)的顶端与滑块(9)活动连接，所述转动板(3)的上表面嵌接有两个吸气泵(11)，吸气泵(11)的进气端密封插接有进气管(12)，进气管(12)的一端与吸盘(5)相插接。

2.根据权利要求1所述的一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，其特征在于，所述转动板(3)的底部分别固定连接有第一红外感应器(13)和第二红外感应器(14)。

3.根据权利要求2所述的一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，其特征在于，所述转动板(3)的一侧固定连接有处理器(15)，处理器(15)与吸气泵(11)、第一电机、第一红外感应器(13)和第二红外感应器(14)电性连接。

4.根据权利要求3所述的一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，其特征在于，所述固定座(1)的上表面开设有滑道(16)，滑道(16)内活动连接有滑座(17)，滑座(17)的上表面固定连接有放置盘(18)。

5.根据权利要求4所述的一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，其特征在于，所述固定座(1)的上表面固定连接有第二电机，第二电机的输出端固定连接有丝杆(24)，丝杆(24)与滑座(17)活动连接，且第二电机和处理器(15)电性连接。

6.根据权利要求5所述的一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，其特征在于，所述放置盘(18)的上表面活动连接有两个滑杆(19)，滑杆(19)的顶端一体成型有压片(20)。

7.根据权利要求6所述的一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，其特征在于，所述放置盘(18)的上表面活动连接有固定螺杆(21)，固定螺杆(21)与压片(20)活动连接。

8.根据权利要求1所述的一种高频大功率晶圆片划线剥离设备，其特征在于，所述固定座(1)的上表面固定连接有支撑架(22)，支撑架(22)的一侧固定连接有激光划片器(23)。