[实用新型]一种半导体芯片加工测试装置有效

专利信息
申请号: 202220491121.0 申请日: 2022-03-09
公开(公告)号: CN217034046U 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 郭飞;陈宗廷;朱放中 申请(专利权)人: 深圳市九章半导体有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市宝安区新安街道海滨社*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 加工 测试 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体芯片加工测试装置,其特征在于,所述半导体芯片加工测试装置包括:

安装板(1)和所述安装板(1)上固定连接的检测器(3),所述检测器(3)上端固定连接有放置板(2),所述放置板(2)上表面开设有多个凹槽,所述检测器(3)用于对半导体芯片的检测;

夹持部件,所述夹持部件包括压板(4)、挤压块(15)、伸缩腔(5),所述伸缩腔(5)上端固定连接在所述安装板(1)上,所述压板(4)固定连接在所述伸缩腔(5)下端,多个所述挤压块(15)呈等距阵列在所述压板(4)上,所述夹持部件用于对凹槽内的半导体芯片进行固定;

限位部件,所述限位部件包括横板(6)、推杆(11)、滑块(12)、斜块(13),两个所述横板(6)分别固定连接在两个所述挤压块(15)之间,两个所述推杆(11)分别呈竖直贯穿所述压板(4)上,且所述推杆(11)顶端固定连接在所述横板(6)上,两个所述斜块(13)分别固定连接在所述推杆(11)底端,所述放置板(2)上开设有两个滑槽,多个所述滑块(12)分别设置在所述凹槽与所述滑槽之间,所述限位部件用于限制半导体偏移。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工测试装置,其特征在于,所述夹持部件还包括支杆(7)、第二弹簧(9),多个所述支杆(7)分别呈等距阵列在所述压板(4)上,所述支杆(7)上固定连接有两个限位环(10),所述第二弹簧(9)上设有两个所述限位环(10)之间。

3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片加工测试装置,其特征在于,所述限位部件还包括第一弹簧(8),两个所述第一弹簧(8)分别固定连接在两个所述限位环(10)之间。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工测试装置,其特征在于,所述斜块(13)呈等腰梯形设置,且所述斜块(13)与所述滑块(12)滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种半导体芯片加工测试装置,其特征在于,位于下侧所述限位环(10)固定连接在所述挤压块(15)上。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工测试装置,其特征在于,所述检测器(3)上端固定连接有用于检测的探针(14)。

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