[实用新型]一种用于化学沉积的沉积处理设备

权利要求书

1.一种用于化学沉积的沉积处理设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部连接有立架(2)，所述立架(2)的上端连接有处理箱(3)，所述处理箱(3)的上端开口设置，所述处理箱(3)的左右两侧壁对称连接有下支座(4)，所述下支座(4)的顶部连接有电动推杆(5)，两个所述电动推杆(5)的顶部活动端共同连接有封盖(6)，所述封盖(6)的中部贯穿有进气管(7)，所述进气管(7)的下端连接有布气管(8)，所述处理箱(3)的下端中心安装有中转轴(9)，所述中转轴(9)的顶部连接有置料架(10)，所述置料架(10)的顶部设有衬底(11)，所述置料架(10)内嵌设有加热丝(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于化学沉积的沉积处理设备，其特征在于：所述中转轴(9)与处理箱(3)之间安装有密封轴承(13)，所述中转轴(9)的下端连接有的锥齿轮一(14)，所述处理箱(3)的底部右侧连接有减速电机(15)，所述减速电机(15)的动力输出端连接有锥齿轮二(16)，所述锥齿轮二(16)啮合连接锥齿轮一(14)。

3.根据权利要求1所述的一种用于化学沉积的沉积处理设备，其特征在于：所述处理箱(3)的底部连接有感应线圈(17)，所述感应线圈(17)所在平面与置料架(10)上端面平行设置，所述底座(1)的顶部连接有交流电源(18)，所述感应线圈(17)电性连接交流电源(18)。

4.根据权利要求1所述的一种用于化学沉积的沉积处理设备，其特征在于：所述底座(1)的顶部连接有尾气箱(19)，所述尾气箱(19)内设有吸收液，所述处理箱(3)的底部连通有排气管(20)，所述排气管(20)下端伸入吸收液中，所述排气管(20)中安装有电磁阀(21)，所述尾气箱(19)的顶部开设有排气口(22)。

5.根据权利要求1所述的一种用于化学沉积的沉积处理设备，其特征在于：所述处理箱(3)内壁与封盖(6)底面均设有保温层。