[实用新型]一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构有效
| 申请号： | 202220457542.1 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN217544593U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 王晖 | 申请（专利权）人： | 深圳市科彤科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/40;H01L23/467 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定性 cob 倒置 板结 | ||
1.一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构，包括基板(1)，其特征在于，所述基板(1)底部外壁固定连接有安装架(2)，所述基板(1)底部外壁的一侧固定连接有散热机构(3)，所述散热机构(3)包括散热箱(4)，且散热箱(4)的一侧外壁固定连接有导热块(5)，所述散热箱(4)的一侧外壁开设有圆口，所述圆口的内壁固定连接有进风机构(7)，所述散热箱(4)顶部内壁固定连接有导热板(9)，且导热板(9)和导热块(5)相接触，所述基板(1)的内壁设置有铜板(20)，且基板(1)的内壁设置有相互交错的铜丝(21)，所述铜丝(21)的一端连接在铜板(20)上，所述导热块(5)和铜板(20)相接触。
2.根据权利要求1所述的一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构，其特征在于，所述导热板(9)底部外壁均固定连接有等距离分布的散热片(10)，且散热片(10)的外壁均开设有等距离分布的风孔。
3.根据权利要求2所述的一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构，其特征在于，所述散热箱(4)底部外壁固定连接有盖板(11)，所述散热箱(4)的一侧内壁开设有凹槽，所述凹槽的内壁滑动连接有滑动板(8)，所述滑动板(8)的外壁和凹槽的内壁均开设有等距离分布的通孔(6)。
4.根据权利要求3所述的一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构，其特征在于，所述进风机构(7)包括安装套(12)，且安装套(12)的内壁固定连接有风扇(13)。
5.根据权利要求4所述的一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构，其特征在于，所述安装套(12)的内壁固定连接有固定架(14)，且固定架(14)的内壁固定连接有驱动机构(15)，所述驱动机构(15)包括驱动套(17)，且驱动套(17)的内壁滑动连接有连接柱(19)，所述连接柱(19)和驱动套(17)的内壁之间连接有同一个弹簧(18)。
6.根据权利要求5所述的一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构，其特征在于，所述凹槽的内壁固定连接有电动滑轨，所述滑动板(8)滑动连接在电动滑轨的内壁上。
7.根据权利要求5所述的一种高稳定性的COB晶圆倒置式基板结构，其特征在于，所述凹槽的固定连接有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的输出轴连接在滑动板(8)上。
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