[实用新型]一种半导体生产时的气体控制系统

说明书

本实用新型涉及气体控制设备技术领域，具体涉及一种半导体生产时的气体控制系统；包括底座、支撑柱，支撑板、生产台、密封箱、支撑组件、喷气组件和净化组件，通过生产台对密封箱进行支撑，支撑组件设置于密封箱的内部，喷气组件设置于密封箱的上方，能够对密封箱内部生产的半导体进行喷气，净化组件设置于密封箱的侧边，能够将其排出的毒气进行净化处理，在生产半导体时，需要对其生产的半导体进行喷气时，便将半导体放置在密封箱的内部，随后，便启动喷气组件，支撑组件便将喷气组件进行支撑，从而喷气组件进行准确的将气体喷射在生产半导体上，提高对半导体的生产。

技术领域

本实用新型涉及气体控制设备技术领域，尤其涉及一种半导体生产时的气体控制系统。

背景技术

在生产半导体时，需要使用到较多的气体对半导体进行生产，然而使用的较多气体中都含有较多毒素，大多会危害人们的身体健康。在生产半导体时，喷出的有气体与半导体进行反应后，将其排出时，易对人们造成身体危害

目前设置有密封箱和净化组件，净化组件设置于所述密封箱的侧边，能够将其排出的气体进行净化，从而便能够对人们进行保护，提高实用性。

然而，现有的半导体生产时的气体控制系统需要对气体进行控制，无法将气体进行准确喷射在生产半导体的上方，从而影响半导体的生产质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体生产时的气体控制系统，旨在解决现有技术中的的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的一种半导体生产时的气体控制系统，所述半导体生产时的气体控制系统包括底座、支撑柱，支撑板、生产台、密封箱、支撑组件、喷气组件和净化组件，所述支撑柱与所述底座固定连接，并位于所述底座的上方，所述支撑板与所述支撑柱固定连接，并位于所述支撑柱的上方，所述生产台设置于所述支撑板的上方，所述密封箱设置于所述生产台的上方，所述支撑组件设置于所述密封箱的内部，所述喷气组件设置于所述密封箱的上方，所述净化组件设置于所述密封箱的侧边；

所述支撑组件包括固定托块、铰接杆和固定套环，所述固定托块与所述密封箱固定连接，并位于所述密封箱的内部，所述铰接杆的一端与所述固定托块铰接连接，所述铰接杆的另一端与所述固定套环铰接连接，所述固定套环与所述喷气组件活动连接，并位于所述喷气组件的侧边。

其中，所述支撑组件还包括连接带，所述连接带的数量为两根，两根所述连接带分别设置于所述固定套环的侧边。

其中，所述支撑组件还包括连接套环，所述连接套环与所述连接带固定连接，并位于所述连接带的侧边。

其中，所述喷气组件包括气罐、泵体、连接管和喷头，所述气罐设置于所述密封箱的上方，所述泵体设置于所述气罐的侧边，所述连接管的一端与所述泵体的输出端固定连接，所述连接管的另一端插入所述密封箱，并与所述喷头连通，所述固定套环和所述连接套环均套设在所述喷头的外部。

其中，所述喷气组件还包括支撑框，所述支撑框与所述密封箱固定连接，并位于所述密封箱的上方，且所述支撑框套设在所述气罐的外部。

其中，所述净化组件包括排气管、注入管和水箱，所述排气管与所述密封箱连通，并位于所述密封箱的侧边，所述注入管的一端与所述排气管固定连接，所述注入管的另一端与所述水箱连通，所述水箱设置于所述密封箱的侧边。