[实用新型]一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台

说明书

本实用新型公开一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，包括：底板、分别安装在底板的固定夹板、活动夹板组件，安装在所述活动夹板组件上的活动定位销组件；所述底板设置有若干定位孔，所述活动定位销组件包括：定位销本体，与所述定位销本体连接的活动件；所述定位孔沿直线排布，所述定位销本体与所述定位孔配合。本实用新型通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台。

背景技术

在半导体(芯片)生产中。晶圆需要在各个工序上进行流转，晶圆是容易碎的物品，需要放在盒子(暗盒)中进行流转。对于自动化生产来说，盒子也是放在托盘上进行流转，由于晶圆有不同的尺寸，因此需要配置不同托盘对晶圆进行流转，十分浪费材料，也占用空间，不利于生产。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，便于对不同尺寸的晶圆进行流转，节约材料，减少空间占用，方便生产。

本实用新型的技术方案如下：提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，包括：底板、分别安装在底板的固定夹板、活动夹板组件，安装在所述活动夹板组件上的活动定位销组件；所述底板设置有若干定位孔，所述活动定位销组件包括：定位销本体，与所述定位销本体连接的活动件；所述定位孔沿直线排布，所述定位销本体与所述定位孔配合。

通过拉动活动件，便可以拉起定位销本体，使定位销本体从定位孔中脱出，通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。

进一步地，所述活动夹板组件包括：安装在底板上的导轨，与所述导轨配合的滑块，安装在滑块上的活动连接板，与所述活动连接板连接的夹板本体，所述活动件安装在活动夹板本体上。所述夹板本体能够通过滑块在导轨上移动，从而实现固定夹板与夹板本体之间的距离不同，实现放置不同尺寸的暗盒。

进一步地，所述活动件包括：合页、台阶件，所述合页的两个页片分别与台阶件、夹板本体连接，所述定位销本体安装在台阶件上。台阶件可以在合页的作用下，实现上下移动，从而实现插销本体插入定位孔和从定位孔中拉出。

进一步地，所述夹板本体设置有限位缺口，所述定位销设置在限位缺口内。

进一步地，所述导轨、滑块均为两个，所述定位孔设置在两个所述导轨之间。

进一步地，所述固定夹板通过螺丝安装在底板上。

采用上述方案，本实用新型提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，通过拉动活动件，便可以拉起定位销本体，使定位销本体从定位孔中脱出，通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型另一视角的结构示意；

图3为活动定位销组件的结构示意图；

图4为夹板本体的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。