[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板在审
| 申请号: | 202211678661.0 | 申请日: | 2022-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN115863359A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
| 发明(设计)人: | 刘学敏 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 孟霞 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:
衬底基板,包括显示区和位于所述显示区至少一侧的非显示区;
薄膜晶体管,设置于所述衬底基板上,且所述薄膜晶体管位于所述显示区内;
钝化层,设置于所述薄膜晶体管和所述衬底基板上;
其中,所述钝化层包括位于所述显示区的第一钝化层和位于所述非显示区的第二钝化层,所述第一钝化层与所述第二钝化层同层设置,且所述第一钝化层的光穿透率高于所述第二钝化层的光穿透率。
2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述第一钝化层的材料为氧化硅。
3.如权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述第二钝化层的材料为氮化硅。
4.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述薄膜晶体管包括:有源层、栅极绝缘层、栅极、源极及漏极;其中,所述有源层设置于所述衬底基板上,所述栅极绝缘层设置于所述有源层上,所述栅极设置于所述栅极绝缘层上,所述源极和所述漏极设置于所述栅极上,所述钝化层设置于所述源极和所述漏极上。
5.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述薄膜晶体管包括:栅极、栅极绝缘层、有源层、源极及漏极;其中,所述栅极设置于所述衬底基板上,所述栅极绝缘层设置于所述栅极上,所述有源层设置于所述栅极绝缘层上,所述源极和所述漏极设置于所述有源层上,所述钝化层设置于所述源极和所述漏极上。
6.如权利要求4-5任一项所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括第一电极层和第二电极层,所述第一电极层设置于所述钝化层靠近所述源极和所述漏极的一侧,所述第二电极层设置于所述钝化层远离所述源极和所述漏极的一侧。
7.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,包括:
提供一衬底基板,所述衬底基板包括显示区和位于所述显示区至少一侧的非显示区;
在所述衬底基板上形成薄膜晶体管,所述薄膜晶体管形成在所述显示区内;
在所述薄膜晶体管和所述衬底基板上形成第一钝化层,所述第一钝化层形成在所述显示区内;
在所述衬底基板上形成第二钝化层,所述第二钝化层形成在所述非显示区内,且所述第二钝化层与所述第一钝化层同层设置;
其中,所述第一钝化层的光穿透率高于所述第二钝化层的光穿透率。
8.如权利要求7所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,所述第一钝化层的材料为氧化硅。
9.如权利要求8所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,所述第二钝化层的材料为氮化硅。
10.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求1-6任一项所述的阵列基板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司,未经武汉华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211678661.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





