[发明专利]一种半导体加工基板清洗装置及清洗方法

说明书

本发明公开了一种半导体加工基板清洗装置及清洗方法，其装置包括清洗水箱，其特征在于，所述清洗水箱的两端分别设有上料流水线和下料流水线，所述上料流水线和下料流水线上均设有流水线传动链，所述上料流水线上设有加工基板，所述加工基板上方设有基板导套，所述清洗水箱的后方设有机械手，所述机械手的输出端设有机械爪，所述机械爪能够夹持加工基板上的基板导套，所述下料流水线上设有烘干站。本发明与现有技术相比的优点在于：基板的清洗效率高，可避免人为原因造成的基板损坏且能改善操作人员工作环境，降低劳动强度。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体是指一种半导体加工基板清洗装置及清洗方法。

背景技术

目前半导体加工材料通过蜡固定在加工基板上，再进行机床加工加工基板一般是由石英，陶瓷，硅等材料制成，加工完成后需要脱蜡，将加工好的工件和加工基板分离。分离后的基板可以再次使用。脱蜡之后，工件和基板上会有残留的蜡，工件和基板要分别清洗。凝固冷却后的蜡不易去除，清洗目前都是操作人员手工清洗。

人工清洗一般设置有三个工位，热水槽，冲淋槽，干净的工作台，清洗完成的基板会送到粘蜡流水线上备用，人工清洗先将基板放入有洗净粉的热水槽用，等一段时候后用海绵刷，将残留的蜡刷干净。再将基板移到冲淋槽中，将泡沫冲洗干净。冲刷后检验基板是否洗净，如果没有干净则从新开始，洗净后的基板移到干净的工作台上，用气枪吹干。将干净的基板放置到流水线上供生产使用。

基板一块重量在12kg左右，搬运需要一些力气，按照3分钟的生产节拍，8小时需要清洗20*8＝160块，劳动强度比较大。

操作人员需要穿戴厚重的橡胶手套，围裙，气枪吹干也会产生刺耳的噪音，影响到操作人员的身体健康。热水槽长时间开启，操作间蒸汽很大，内常年潮湿，影响到工作环境的舒适度。吹气时手工频繁取放基板也产生一些不确定性，容易造成基板边角磕碰，磕碰很容易造成基板裂纹，损坏的基板不可修复，只能重新购买新基板，造成财产损失。劳动强度大，工作环境差，人为操作容易造成基板破损。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种半导体加工基板清洗装置及清洗方法。

为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案为：一种半导体加工基板清洗装置，包括清洗水箱，清洗水箱的两端分别设有上料流水线和下料流水线，上料流水线和下料流水线上均设有流水线传动链，上料流水线上设有加工基板，加工基板上方设有基板导套，清洗水箱的后方设有机械手，机械手的输出端设有机械爪，机械爪能够夹持加工基板上的基板导套，下料流水线上设有烘干站。

优选地，清洗水箱内转动设有旋盘，旋盘上设有若干呈放射状分布的橡胶刷，橡胶刷用于对加工基板底部融化的蜡刮干净。

优选地，清洗水箱的内腔底部设有加热器。加热器与旋盘之间无相关连接，所以无需补充

优选地，清洗水箱内腔壁下方设有清洗水位线，清洗水位线的上方设有加水口和溢流口，清洗水箱的两侧壁均设有上下分布的两排喷头，清洗水箱的内壁上方设有与喷头喷淋区域相对应的喷淋线。

优选地，清洗水箱的内壁下方设有放泄口。

优选地，烘干站的内壁两侧均设有热风出口，烘干站的上方设有抽风管道。

优选地，机械爪包括阔型手指气缸，阔型手指气缸两侧的输出端分别设有夹紧板，且两个夹紧板之间形成用于夹紧基板导套上端的夹紧口。

一种半导体加工基板清洗方法，具体包括以下步骤：

步骤一：将加工基板翻转，清洗面朝下，放置在上料流水线上；

步骤二：机械手抓取加工基板，移至清洗水箱中，将加工基板低于清洗水位线，将加工基板浸泡在热水中；

步骤三：旋盘缓慢旋转，旋盘上的橡胶刷将融化的蜡刮干净；