[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法有效
| 申请号： | 202210888565.2 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN114975792B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 肖平;蔡子贺;赵志国;赵政晶;刘云;张赟;秦校军;赵东明 | 申请（专利权）人： | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L51/48;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 周初冬 |
| 地址： | 102209 北京市昌平区北七家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钙钛矿 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种钙钛矿太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：
在透明导电基底层上由下至上依次制备TiO2致密层、TiO2纳米柱阵列、无定形TiO2-x纳米壳、钙钛矿层、空穴传输层和顶电极层，得到钙钛矿太阳能电池；
所述钙钛矿太阳能电池包括：依次层叠设置的透明导电基底层、电子传输层、钙钛矿层、空穴传输层和顶电极层；所述电子传输层包括：TiO2致密层，设置在所述TiO2致密层一侧表面的TiO2纳米柱阵列，和复合在所述TiO2纳米柱阵列表面的无定形TiO2-x纳米壳；所述TiO2致密层的另一侧与透明导电基底层相接触；
其中，制备所述TiO2致密层的方式为磁控溅射；所述磁控溅射的溅射压强为0.6Pa；所述磁控溅射的溅射速率为1.3nm/min；所述磁控溅射的溅射靶材为TiO2-x；所述磁控溅射的溅射气氛为3%氧气和97%氩气的混合气氛；所述磁控溅射结束后，进行退火处理，所述退火处理的温度为450℃，所述退火处理的时间为3h；所述TiO2致密层的厚度为70nm；
制备所述TiO2纳米柱阵列的方式为水热合成；所述水热合成所使用的溶液为TiCl3的饱和NaCl水溶液；所述水溶中TiCl3的浓度为0.15mol/L；所述水热合成的反应温度为170℃；所述水热合成的反应时间为2h；所述TiO2纳米柱阵列中纳米柱的直径为100nm，纳米柱的长度为500nm；
制备所述无定形TiO2-x纳米壳的方式为磁控溅射；所述磁控溅射的溅射压强为0.6Pa；所述磁控溅射的溅射速率为1.0nm/min；所述磁控溅射的溅射靶材为TiO2-x；所述磁控溅射的溅射气氛为氩气气氛；所述无定形TiO2-x纳米壳的厚度为30nm。
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