[发明专利]一种n-i-p型钙钛矿发光二极管及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210599387.1 申请日: 2022-05-30
公开(公告)号: CN114975844A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 吴晓晖;戴兴良;何海平;叶志镇 申请(专利权)人: 浙江大学;浙江锌芯钛晶科技有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/54
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 万尾甜;韩介梅
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 型钙钛矿 发光二极管 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种n-i-p型钙钛矿发光二极管的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:

S1将洁净的透明导电玻璃表面进行活化处理;

S2在步骤S1所得衬底表面采用ZnMgO前驱液沉积含羧酸基团的ZnMgO薄膜并退火,所述薄膜改善衬底的同时作为电子传输层(ETL);

S3在步骤S2所得的ZnMgO薄膜表面采用原位成膜法旋涂含修饰剂的钙钛矿前驱液,获得钙钛矿发光层,所述修饰剂为氨基酸分子;

S4在步骤S3所制备的钙钛矿发光层表面旋涂空穴传输层;

S5在步骤S4所制得的空穴传输层上依次沉积空穴注入层和金属电极。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的ZnMgO前驱液的配置方法包括以下步骤:按ZnMgO中Zn与Mg的比例称取二水醋酸锌(Zn(Ac)2·2H2O)和四水醋酸镁(Mg(Ac)2·4H2O)溶于2-甲氧基乙醇,然后加入乙醇胺,搅拌1-48小时;其中前驱液总浓度为0.1-1.0M,乙醇胺与醋酸锌的摩尔比为0.1-1:1。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述ZnMgO薄膜中Mg的摩尔比例为5%~50%。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的步骤S2包括以下步骤:将S1所述活化处理后的透明导电玻璃置于旋涂设备中,设置旋涂参数,将ZnMgO前驱液滴加在透明导电玻璃上,然后开始旋涂,旋涂结束后将所得薄膜进行退火处理,最后获得含羧酸基团的ZnMgO薄膜;其中旋涂设备的转速为2000-8000rpm,旋涂时间为20-60s;退火温度为150~200℃,退火时间为0.1-2h。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的ZnMgO薄膜的厚度为20-100nm。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的步骤S3包括以下步骤:在手套箱中,将钙钛矿前驱液滴覆在S2所制得的ZnMgO薄膜表面,用旋涂设备获得一层均匀的薄膜,旋涂结束后将所得薄膜进行退火处理;其中旋涂设备的转速为1000~5000rpm,旋涂时间为30~60s;退火温度为70-100℃,退火时间为1~10min。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述含修饰剂的钙钛矿前驱液的制备方法具体包括以下步骤:

(1)在手套箱中称取甲脒氢溴酸盐(FABr)和溴化铅(PbBr2)溶解在N,N-二甲基甲酰胺(DMF)中;

(2)在手套箱中称取修饰剂加入(1)所得溶液,在手套箱中用磁力搅拌。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述钙钛矿前驱液中FABr、PbBr2、修饰剂的摩尔比为2.4:1:x,x取值范围在0.2~1.0之间;前驱液中PbBr2的摩尔浓度为0.05~0.2M,搅拌时间为4~12h。

9.根据权利要求7或8所述的制备方法,其特征在于,所述的修饰剂为5氨基戊酸(5AVA)或6氨基己酸(6ACA)。

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