[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括在电池基底上形成栅线电极，所述电池基底包括异质结基底和在异质结基底相对的两侧面上形成的透明氧化导电层；所述栅线电极包括：在透明导电氧化层上沉积形成覆盖透明导电氧化膜的种子层；在种子层上进行第一次喷墨打印形成具有栅线图案的第一掩膜层，所述栅线图案为与种子层垂直、暴露出种子层的凹槽；在第一掩膜层上，栅线图案凹槽的两侧打印第二掩膜层；在栅线图案中电镀导电栅线。

2.如权利要求1所述的一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述异质结基底包括在掺杂硅基异质结基底相对的两侧面上分别形成的第一本征非晶硅层和第二本征非晶硅层，所述第一本征非晶硅远离掺杂硅基异质结基底的一侧形成第一掺杂非晶硅层；在第二本征非晶硅层远离掺杂硅基异质结基底的一侧形成的第二掺杂非晶硅层。

3.如权利要求1所述的一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，在打印电镀导电栅线之前，将第一掩膜层和第二掩膜层加热至玻璃态转变温度以上，使用与栅线图案配合的模具，对第一掩膜层和第二掩膜层进行压印。

4.如权利要求1所述的一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述第一掩膜层厚度为10-15μm，第二掩膜层厚度为5-10μm。

5.如权利要求1所述的一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述第一掩膜层和第二掩膜层材料均为热可塑形材料。

6.如权利要求5所述的一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述第一掩膜层和第二掩膜层材料均为石蜡。

7.如权利要求2所述的一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述掺杂硅基异质结基底靠近第一本征非晶硅层的侧面具有蜂窝状的绒面结构。

8.如权利要求1所述的一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，还包括在导电栅线上继续电镀制作锡叠层作为导电栅线的助焊层。

9.如权利要求1-8任一所述的一种太阳能电池的制作方法制作的太阳能电池。