[发明专利]一种N型TOPCon太阳能电池及其制作方法

说明书

提供了一种N型TOPCon太阳能电池及其制作方法，所述N型TOPCon太阳能电池包括N型硅片衬底；发射结，形成于N型硅片衬底中，且位于N型硅片衬底的受光面一侧；第一氧化硅层、钝化层和减反射层，依序层叠于发射结上；第二氧化硅层和磷掺杂多晶硅层依序层叠于N型硅片衬底的背光面上；SiO₂/Ag镜面结构，设置于磷掺杂多晶硅层上；金属电极。所述制作方法通过在N型TOPCon太阳能电池的背光面一侧的最外层面形成SiO₂/Ag镜面结构，该SiO₂/Ag镜面结构可以将穿过太阳能电池的太阳光反射回电池中，使电池能够对太阳光进行重新利用，从而改善了电池的光捕获性能，进而有利于提升电池的光电转换效率。此外，该制作方法操作方便，具有工艺简单、成本低的特点。

技术领域

本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种N型TOPCon太阳能电池及其制作方法。

背景技术

N型电池具有少子寿命高，无光致衰减，弱光效应好，温度系数小等优点，并成为取代P型电池的最佳候选。其中，N型钝化接触太阳能电池，例如N型TOPCon太阳能电池，通过在背面沉积一层超薄氧化层和重掺杂多晶硅层以形成钝化接触结构，该钝化接触结构能够实现载流子的选择性通过，极大地降低了电池的金属接触复合，提升开路电压和短路电流，进而有利于提高电池效率。

随着N型TOPCon太阳能电池的应用越来越广泛，人们对N型TOPCon太阳能电池的光电转化效率要求越来越高。然而，太阳能电池的光学损失是制约电池光电转化效率提升的重要因素，因此如何减小N型TOPCon太阳能电池的光学损失以提高其电池光电转化效率是亟需解决的技术问题之一。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明提供了一种N型TOPCon太阳能电池及其制作方法。

根据本发明的实施例的一方面提供的一种N型TOPCon太阳能电池，所述N型TOPCon太阳能电池包括：N型硅片衬底；发射结，形成于所述N型硅片衬底中，且位于所述N型硅片衬底的受光面一侧；第一氧化硅层、钝化层和减反射层，依序层叠于所述发射结上；第二氧化硅层和磷掺杂多晶硅层依序层叠于所述N型硅片衬底的背光面上；SiO₂/Ag镜面结构，设置于所述磷掺杂多晶硅层上；金属电极，贯穿所述减反射层、所述钝化层和所述第一氧化硅层而与所述发射结接触。

在上述实施例的一方面提供的N型TOPCon太阳能电池中，所述SiO₂/Ag镜面结构包括层叠于所述磷掺杂多晶硅层上的SiO₂薄膜层以及层叠于所述SiO₂薄膜层上的Ag金属薄膜层。

根据本发明的实施例的另一方面提供的N型TOPCon太阳能电池的制作方法，所述制作方法包括：对N型硅片衬底的受光面进行硼扩散处理，以形成发射结；在所述发射结上形成第一氧化硅层；在所述N型硅片衬底的背光面上依序形成层叠的第二氧化硅层和磷掺杂多晶硅层；在所述第一氧化硅层上依序形成层叠的钝化层和减反射层；在所述磷掺杂多晶硅层上形成SiO₂/Ag镜面结构；在所述减反射层上形成贯穿所述减反射层、所述钝化层和所述第一氧化硅层而与所述发射结接触的金属电极，以获得所述N型TOPCon太阳能电池。

在上述实施例的另一方面提供的N型TOPCon太阳能电池的制作方法的一个示例中，所述在所述磷掺杂多晶硅层上形成SiO₂/Ag镜面结构的方法包括：利用湿氧氧化法、干氧氧化法或等离子增强化学气相沉积法在所述磷掺杂多晶硅层形成SiO₂薄膜层；利用磁控溅射法在所述SiO₂薄膜层上形成Ag金属薄膜层。