[发明专利]一种具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备

权利要求书

1.一种具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，所述多雾化源Mist-CVD设备包括：

多个雾化腔室，每个所述雾化腔室设置有用于进行雾化或者承载第一气体的雾化源空腔；

每个所述雾化腔室上均设置有连通所述雾化源空腔的第一载气入口，所述第一载气入口用于通入第一气体或者第二气体；

混气腔室，所有所述雾化腔室均可独立通断的连接至所述混气腔室，所述混气腔室设置有用于使雾化气体混合均匀的混气空腔；

反应腔室，所述混气腔室连通所述反应腔室，所述反应腔室设置有接收所述雾化气体、以用于反应生长的反应空腔。

2.根据权利要求1所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，还包括多个雾化片，每个所述雾化腔室的雾化源空腔内对应设置一个或多个所述雾化片。

3.根据权利要求1所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，还包括多个第一管路和多个通断件，每个所述雾化腔室通过一所述第一管路与所述混气腔室连通，每个所述第一管路上设置一所述通断件，所述通断件用于控制所述第一管路的通断。

4.根据权利要求3所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，所述通断件包括电磁阀。

5.根据权利要求1所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，所述混气腔室上设置有连通所述混气空腔的第二载气入口，所述第二载气入口用于通入第三气体。

6.根据权利要求1所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，每个所述雾化腔室上均设置有连通所述雾化源空腔的补液口，通过所述补液口连接补液装置。

7.根据权利要求1所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，所述反应腔室的反应空腔内设置有可转动的衬底托盘和功率可调的加热模块，且所述反应腔室设置有用于排气的排气口。

8.根据权利要求1所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，在所述第一管路、连通所述混气腔室和所述反应腔室的第二管路以及所述混气腔室、所述反应腔室的外壁均设置有冷却结构。

9.根据权利要求1所述具有多雾化源的Mist-CVD设备具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，所述雾化腔室的形状包括立方体、圆柱体、半球体、或者球体，所有所述雾化腔室的排列方式包括环形排列、扇形排列或者星形排列，所述混气腔室的形状包括立方体、圆柱体、半球体、或者球体。

10.根据权利要求1所述的具有冷壁分时分步输运功能的多雾化源Mist-CVD设备，其特征在于，所述雾化腔室、所述混气腔室和所述反应腔室的材料包括耐腐蚀钢、石英或者玻璃。