[发明专利]一种全树脂片式电感的制作方法

说明书

本发明提供了一种全树脂片式电感的制作方法，包括如下步骤：制作第一线圈和第一层电极，然后贴膜、曝光、显影、电镀制作第一铜柱和第二层电极；用前步骤相同的方法制作第二线圈和第三层电极、第二铜柱和第四层电极；以第一线圈、第一铜柱、第二线圈、第二铜柱的交替结构为基本单元，循环向上制作可得到全树脂片式电感；相对于传统的片式电感制作方法，本发明大大简化了制作流程，降低了工艺难度。同时，本发明制得的片式电感实现了L型端电极与线圈一体化制作。

技术领域

本发明属于电感器领域，具体涉及一种全树脂片式电感的制作方法。

背景技术

电感器可将电能转化为磁能而储存起来，在电路中起储能、滤波、谐振的作用。随着移动通信技术的蓬勃发展，通信设备的高集成度、轻薄化使得电子元器件也向着小型化发展，电感元件的片式化也是减小产品体积和提高组装效率的必然趋势。片式电感分为绕线型和叠层型两大类。绕线型电感器是将细的导线绕在软磁铁氧体磁芯上制成，外层一般用树脂封固。其工艺继承性强，但体积小型化有限。而片式叠层电感器则不用绕线，是用铁氧体浆料和导体浆料交替印刷、叠层、烧结，形成闭合磁路；它采用先进的厚膜多层钝化技术和叠层生产工艺，实现了超小型表面安装。传统的制作方法制作流程较为复杂，电感可靠性较差，不能实现线圈和电极一体化制作，而且不能继续减小片式电感的尺寸，因此需要开发新的工艺进行制作。

中国发明专利《一种贴片功率电感器的制作方法》(申请号为CN201910078314.6)公开了一种绕线工艺与多层印刷技术相结合的片式电感制作方法。该方法无需经过高温烧结即可制成多层片式电感，但是电感尺寸的缩减有限。中国发明专利《一种贴片式电感及其制作方法》(申请号为CN201811209431.3)公开了一种交替形成绝缘层和图案化金属结构的制作方法，能实现片式电感的小型化以及电感尺寸的精确控制。该方法中的绝缘层需要制作通孔结构以连接相邻层的电感线圈，这使得制作流程非常复杂，而且不能保证通孔金属和线圈连接的可靠性。

发明内容

鉴于上文所述，针对现有片式电感工艺流程复杂，无法继续缩小尺寸情况，本发明提供一种全树脂片式电感的制作方法，通过加成法制作线圈线路和电极图形，简化了片式电感的制作流程，同时实现了端电极一体化制作。此外，使用加成法可以制作精细线路，能实现片式电感尺寸的进一步减小。

本发明的技术方案如下：

一种全树脂片式电感的制作方法，包括如下步骤：

步骤(1)：形成第一层图形，所述第一层图形包括第一线圈和第一层电极，图形制作选用如下两种方法之一：

方法1：使用喷墨打印的方法将催化油墨喷涂在第一基板101上，然后进行化学镀，在油墨区域形成第一线圈和第一层电极，得到具有第一线圈304的第二基板102；

方法2：在第一基板101上形成一层厚度为2μm种子层，然后在种子层上进行贴膜、曝光、显影，将线圈和电极所在区域暴露出来，通过电镀的方式将线圈和电极区域的图形加厚，退膜后得到含有种子层和第一线圈的第二基板102；

步骤(2)：制作第二层图形，所述第二层图形包括第一铜柱和第二层电极，分如下两种情况：

情况1：采用步骤(1)中的方法1制作第一线圈和第一层电极后，在第二基板102图形面进行贴膜、曝光、显影，将铜柱和电极图形的区域暴露出来，电镀生长出第一铜柱和第二层电极，得到第三基板103；在第三基板103图形面形成树脂层，随后进行研磨，使得第一铜柱和第二层电极图形顶部暴露出来；

情况2：采用步骤(1)中的方法2制作第一层图形后，在第二基板102图形面进行贴膜、曝光、显影，将铜柱和电极图形的区域暴露出来，通过电镀生长出第一铜柱和第二层电极，所述第二层电极是在第一层电极上直接电镀生长而成；退膜后进行差分蚀刻，将种子层蚀刻完后得到第三基板103；在第三基板103图形面形成树脂层，随后进行研磨，使得第一铜柱和第二层电极图形顶部暴露出来；