[发明专利]一种全树脂片式电感的制作方法

权利要求书

1.一种全树脂片式电感的制作方法，其特征在于包括如下步骤：

步骤(1)：形成第一层图形，所述第一层图形包括第一线圈和第一层电极，图形制作选用如下两种方法之一：

方法1：使用喷墨打印的方法将催化油墨喷涂在第一基板(101)上，然后进行化学镀，在油墨区域形成第一线圈和第一层电极，得到具有第一线圈(304)的第二基板(102)；

方法2：在第一基板(101)上形成一层厚度为2μm种子层，然后在种子层上进行贴膜、曝光、显影，将线圈和电极所在区域暴露出来，通过电镀的方式将线圈和电极区域的图形加厚，退膜后得到含有种子层和第一线圈的第二基板(102)；

步骤(2)：制作第二层图形，所述第二层图形包括第一铜柱和第二层电极，分如下两种情况：

情况1：采用步骤(1)中的方法1制作第一线圈和第一层电极后，在第二基板(102)图形面进行贴膜、曝光、显影，将铜柱和电极图形的区域暴露出来，电镀生长出第一铜柱和第二层电极，得到第三基板(103)；在第三基板(103)图形面形成树脂层，随后进行研磨，使得第一铜柱和第二层电极图形顶部暴露出来；

情况2：采用步骤(1)中的方法2制作第一层图形后，在第二基板(102)图形面进行贴膜、曝光、显影，将铜柱和电极图形的区域暴露出来，通过电镀生长出第一铜柱和第二层电极，所述第二层电极是在第一层电极上直接电镀生长而成；退膜后进行差分蚀刻，将种子层蚀刻完后得到第三基板(103)；在第三基板(103)图形面形成树脂层，随后进行研磨，使得第一铜柱和第二层电极图形顶部暴露出来；

步骤(3)按照步骤(1)所述线圈和电极的制作方法，在研磨后的第三基板(103)上继续制作第二线圈和第三层电极，得到具有第二线圈(307)的第四基板(104)的第三层图形；

步骤(4)按照步骤(2)所述铜柱和电极的制作方法，在第四基板(104)上继续制作第二铜柱和第四层电极，得到具有第二铜柱(308)的第五基板(105)的第四层图形；

步骤(5)以从下至上依次为第一线圈、第一铜柱、第二线圈、第二铜柱的交替结构为基本单元，按照步骤(1)～(4)所述方法循环向上制作，得到具有(2N-1)层图形的多层线圈结构的第六基板(106)，N≥3；

步骤(6)使用步骤(1)所述的图形制作方法继续加厚电极图形，退膜、差分蚀刻后得到第七基板(107)；继续使用步骤(1)所述的图形制作方法在最外层加宽电极，退膜、差分蚀刻后即可得到具有L型端电极的N匝线圈电感(108)；

所述步骤(1)中种子层为Cu、Ti和Cu双层结构、Ni、Sn中的一种，且厚度为1～3μm；

所述步骤(2)中形成树脂层的方法选择热压半固化片或者印刷光固化树脂；

所述步骤(1)、(3)中的线圈图形宽度为8～25μm；

所述步骤(2)、(4)中的铜柱分别与其上下相邻两层线圈互连；

所述步骤(6)制得的电感(108)的底层线圈和顶层线圈分别与两侧端电极互连；

所述步骤(6)中电感线圈匝数为N，其中奇数层为线圈，偶数层为连接线圈的铜柱。