[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202210309999.2 申请日: 2016-03-17
公开(公告)号: CN114744001A 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 田中裕介;永野隆史;若野寿史;松沼健司 申请(专利权)人: 索尼半导体解决方案公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N5/374
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 陈睆;曹正建
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,包括:

半导体基板,所述半导体基板包括杂质区域;以及

配线层,所述配线层包括:

第一配线,所述第一配线连接至所述杂质区域;

第二配线;和

第一中空区域,其中,所述第一中空区域设置在所述第一配线与所述第二配线之间。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,所述杂质区域是浮置扩散区域。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,还包括放大晶体管,其中,所述第二配线连接至所述放大晶体管。

4.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,所述配线层还包括第二中空区域,并且所述第二配线设置在所述第一中空区域与所述第二中空区域之间。

5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,所述第二配线不接触所述第一中空区域和所述第二中空区域中的每一者。

6.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,所述第一配线、所述第一中空区域、所述第二配线和所述第二中空区域依次排列在特定方向上。

7.根据权利要求6所述的半导体装置,其中,所述特定方向是水平方向。

8.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,所述配线层还包括第三配线,并且所述第二中空区域位于所述第二配线与所述第三配线之间。

9.根据权利要求8所述的半导体装置,还包括电源,其中,所述第三配线连接至所述电源。

10.根据权利要求1或2所述的半导体装置,还包括:

光电二极管,所述光电二极管在所述半导体基板中;以及

传输晶体管,其中,所述光电二极管经由所述传输晶体管连接至所述杂质区域。

11.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,所述第一中空区域包括在所述第一配线与所述第二配线之间的区域的一部分。

12.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,所述第一配线不接触所述第一中空区域。

13.根据权利要求1或2所述的半导体装置,还包括:

第一膜,所述第一膜包括设置在所述配线层中的氧化硅,其中,所述第一膜设置在所述第一配线与所述第一中空区域之间。

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