[发明专利]一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置及方法

权利要求书

1.一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置，其特征在于，所述装置包括伺服电机(1)，所述伺服电机(1)电性连接有对伺服电机(1)进行控制的PLC控制器(2)，所述伺服电机(1)的输出端上设有主轴(3)，所述主轴(3)上连接有第一传动机构(4)，所述第一传动机构(4)上通过连接块(5)连接有第二传动机构(6)，所述第二传动机构(6)的侧端设有外框架(7)，所述外框架(7)上通过第一旋转轴(8)连接有产品夹持机构(9)，所述产品夹持机构(9)的另一端通过第二旋转轴(10)与第二传动机构(6)连接。

2.根据权利要求1所述的一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置，其特征在于，所述第一传动机构(4)包括竖向设置的齿条(11)，所述齿条(11)与主轴(3)上设有的第一齿轮(12)啮合，所述齿条(11)的顶端与连接块(5)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置，其特征在于，所述第二传动机构(6)包括驱动电机(13)，所述驱动电机(13)固定设置在连接块(5)上，所述驱动电机(13)的输出端设有第二齿轮(14)，所述第二齿轮(14)上啮合有第三齿轮(15)，所述第三齿轮(15)与第二旋转轴(10)连接。

4.根据权利要求1所述的一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置，其特征在于，所述驱动电机(13)为变速电动机,所述驱动电机(13)与PLC控制器(2)电性连接。

5.一种基于权利要求1-4任一项所述的一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置的使用方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤:

S1、将待处理产品放入外框架(7)上方，通过产品夹持机构(9)进行固定；

S2、将酸液从外框架(7)的正上方喷洒或者留下，对产品进行作业；

S3、通过PLC控制器(2)带动伺服电机(1)运作，可带动第一传动机构(4)运作，从而带动产品上下方向移动；

S4、通过PLC控制器(2)带动驱动电机(13)运作，可带动第二传动机构(6)运作，从而带动产品360°旋转移动。