[发明专利]无源滤波器及其制备方法

权利要求书

1.一种无源滤波器，其特征在于，包括：介质基板、至少一个电容以及至少一个电感；所述介质基板包括沿所述介质基板厚度方向设置的开槽；所述开槽的内壁包括第一部分，所述第一部分上至少部分点的切线的延伸方向与所述介质基板所在平面的延伸方向相交；

所述电容包括背离所述介质基板方向依次设置的第一极板、第一层间介质层以及第二极板；所述电容的第一极板、所述电容的第二极板以及所述第一层间介质层在所述介质基板上的正投影重叠的部分，至少覆盖所述第一部分。

2.根据权利要求1所述的无源滤波器，其特征在于，所述介质基板还包括沿其厚度方向贯穿的第一连接过孔以及沿厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；

所述电感包括设置在所述介质基板的所述第一表面上的第一子结构，设置在所述介质基板的所述第二表面上的第二子结构，以及设置在所述第一连接过孔内的第一连接电极，且所述第一连接电极将所述第一子结构和所述第二子结构连接；所述电感与所述电容电连接。

3.根据权利要求2所述的无源滤波器，其特征在于，所述电感为多个，多个所述电感包括第一电感和第二电感；

所述无源滤波器包括第一导电层；所述第一导电层包括所述第一电感的第一子结构、所述第二电感的第一子结构以及所述电容的第一极板；

所述无源滤波器包括第二导电层；所述第二导电层包括所述第一电感的第二子结构以及所述第二电感的第二子结构；

且所述第一电感的第一引线端和所述电容的第一极板相连，所述第二电感的第二引线端和所述电容的第一极板相连。

4.根据权利要求3所述的无源滤波器，其特征在于，所述第一层间介质层在所述介质基板上的正投影，覆盖所述第一子结构和所述电容的第一极板在所述介质基板上的正投影；

所述无源滤波器还包括：设置在所述第一层间介质层和所述电容的第二极板背离所述介质基板一侧的第二层间介质层；设置在所述第二层间介质层背离所述介质基板一侧的第三层间介质层；以及设置在背离所述第二介质层一侧的第一连接焊盘、第二连接焊盘以及第三连接焊盘；

所述第一连接焊盘通过贯穿所述第一层间介质层和所述第二层间介质层上的第二连接过孔与所述第一电感的第二引线端相连；

所述第二连接焊盘通过贯穿所述第一层间介质层和所述第二层间介质层上的第三连接过孔与所述第二电感的第一引线端相连；

所述第三连接焊盘通过贯穿所述第二层间介质层上的第四连接过孔与所述电容的第二极板相连。

5.根据权利要求1所述的无源滤波器，其特征在于，所述开槽为盲槽。

6.根据权利要求5所述的无源滤波器，其特征在于，所述盲槽包括半球型盲槽、圆柱型盲槽以及立方体型盲槽。

7.根据权利要求1所述的无源滤波器，其特征在于，所述电容的第一极板、所述电容的第二极板以及所述第一层间介质层在所述介质基板上的正投影重叠的部分，完全覆盖所述开槽的内壁。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的无源滤波器，其特征在于，所述介质基板包括玻璃基或硅基。

9.一种无源滤波器的制备方法，其特征在于，提供一介质基板，所述介质基板包括沿所述介质基板厚度方向设置的开槽；所述开槽的内壁包括第一部分，所述第一部分上至少部分点的切线的延伸方向与所述介质基板所在平面的延伸方向相交；

形成至少一个电容和至少一个电感；形成所述电容的步骤包括：

在背离所述介质基板一侧依次形成所述电容的第一极板、第一层间介质层和所述电容的第二极板；所述电容的第一极板和所述电容的第二极板以及第一层间介质层在所述介质基板上的正投影重叠的部分，覆盖所述第一部分。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述开槽包括盲槽；所述介质基板包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；

所述提供一介质基板包括：在所述介质基板的第一表面沿其厚度方向形成所述盲槽。