[实用新型]芯片加工用运送机构有效

专利信息
申请号: 202123428624.8 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN216648258U 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 马磊;党鹏;杨光;彭小虎;王新刚;庞朋涛;任斌;王妙妙 申请(专利权)人: 西安航思半导体有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 代理人: 聂颖
地址: 710300 陕西省西安市鄠*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 芯片 工用 运送 机构
【权利要求书】:

1.一种芯片加工用运送机构,包括:工作台(1)、位于工作台(1)正上方的顶板(3)和竖直连接于所述工作台(1)与顶板(3)之间的支撑板(2),其特征在于:所述支撑板(2)侧表面上滑动安装有一电缸(6),一用于拾取待加工芯片的吸盘(7)安装于所述电缸(6)的输出端上;

所述支撑板(2)的侧表面上开设有一沿水平方向延伸的条形槽(4),一滑动板(5)的一侧滑动设置于所述条形槽(4)内,所述滑动板(5)的另一侧下表面上安装有所述电缸(6),水平设置的所述滑动板(5)下表面两端各连接有一竖直设置的第一安装板(8),对称设置于电缸(6)两侧的2块所述第一安装板(8)之间转动连接有一双向螺杆(9),所述双向螺杆(9)的一端穿过一个第一安装板(8)并与安装于该第一安装板(8)上的电机(10)输出轴连接,所述双向螺杆(9)上并位于电缸(6)两侧各套装有一第二安装板(11),该第二安装板(11)的底部安装有挡板(12);

2个所述第一安装板(8)相对的表面上各安装有一L形板(13),一端与第一安装板(8)连接的所述L形板(13)的另一端延伸至吸盘(7)上方向下折弯并安装有一活塞缸(14),所述活塞缸(14)与对应的第二安装板(11)之间连接有气囊(15),所述气囊(15)的一端固定于第二安装板(11)上、另一端与活塞缸(14)内的腔体连通,所述活塞缸(14)的伸缩杆下端安装有用于与吸盘(7)顶面配合的第三安装板(16)。

2.根据权利要求1所述的芯片加工用运送机构,其特征在于:所述电缸(6)的活塞杆与吸盘(7)之间通过一第一连接杆(17)连接。

3.根据权利要求1所述的芯片加工用运送机构,其特征在于:每个所述L形板(13)与对应的第一安装板(8)之间连接有一导杆(18),所述第二安装板(11)的上端与对应的导杆(18)滑动配合。

4.根据权利要求1所述的芯片加工用运送机构,其特征在于:所述活塞缸(14)的伸缩杆与第三安装板(16)之间通过第二连接杆(19)连接。

5.根据权利要求1所述的芯片加工用运送机构,其特征在于:所述活塞缸(14)的活塞上固接有弹簧,且弹簧的另一端固接在活塞缸(14)的内壁。

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