[实用新型]一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的热丝夹具有效
申请号: | 202122480378.4 | 申请日: | 2021-10-14 |
公开(公告)号: | CN215799876U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 刘翠翠 | 申请(专利权)人: | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/24 | 分类号: | C23C16/24;C23C16/44;H01L31/18 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 王焕巧 |
地址: | 332020 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 异质结 太阳电池 hwcvd 设备 夹具 | ||
本实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的热丝夹具,包括夹具本体、通管、第一螺丝以及第二螺丝,所述夹具本体的顶部开设有插槽,所述插槽的内部嵌入设置有方形垫片,所述方形垫片的一侧中心处固定设有第一半管,所述夹具本体的中心处固定设有第二半管,且所述第一半管与第二半管之间呈相对设置,所述第一螺丝以及第二螺丝的端部与方形垫片抵接。本实用新型通过将金属丝依次插入第一半管、第二半管以及通管中,再依次旋进第一螺丝以及第二螺丝对金属丝固定,由于第一螺丝以及第二螺丝转动时作用在承压片以及方形垫片上,因此金属丝固定后不会旋转偏移,该夹具在固定金属丝后,金属丝不会旋转偏移,有效地提高镀膜质量以及效率。
技术领域
本实用新型涉及太阳电池加工技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的热丝夹具。
背景技术
单晶硅异质结太阳电池转换效率高,被光伏行业公认为下一代大规模产业化关键技术之一,单晶硅异质结太阳电池的非晶硅薄膜镀膜设备有HWCVD和PECVD,其中HWCVD因其较低的制造成本和更高产能而更具竞争力,HWCVD的镀膜原理是金属丝通电放热,在高温下将反应气体分解,分解后的基团在硅片表面反应形成非晶硅薄膜。
现有技术存在以下不足:现有的将金属丝固定在电极上的夹具在装配过程中容易使金属丝发生旋转,导致金属丝到两侧硅片的距离不一致,影响镀膜质量,从而影响效率。
实用新型内容
为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的热丝夹具,通过将金属丝依次插入第一半管、第二半管以及通管中,再依次旋进第一螺丝以及第二螺丝对金属丝固定,由于第一螺丝以及第二螺丝转动时作用在承压片以及方形垫片上,因此金属丝固定后不会旋转偏移,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的热丝夹具:包括夹具本体、通管、第一螺丝以及第二螺丝,所述夹具本体的顶部开设有插槽,所述插槽的内部嵌入设置有方形垫片,所述方形垫片的一侧中心处固定设有第一半管,所述夹具本体的中心处固定设有第二半管,且所述第一半管与第二半管之间呈相对设置,所述第一螺丝以及第二螺丝的端部与方形垫片抵接。
优选的,所述通管固定设置于夹具本体的内腔底部,所述第一螺丝以及第二螺丝置于夹具本体的顶部一侧,且所述第一螺丝以及第二螺丝均与夹具本体螺纹连接。
优选的,所述方形垫片的另一侧中心处设有承压片,且所述承压片与方形垫片固定连接。
优选的,所述承压片的另一侧开设有与第一螺丝以及第二螺丝位置相对应的螺纹孔,且所述第一螺丝以及第二螺丝分别与两个螺纹孔螺纹连接。
优选的,所述夹具本体内腔底部的前侧以及背侧均固定设有弹簧,所述弹簧的两端均固定设有垫片,且所述方形垫片的底部与垫片相接触。
本实用新型的技术效果和优点:
本实用新型通过将金属丝依次插入第一半管、第二半管以及通管中,再依次旋进第一螺丝以及第二螺丝对金属丝固定,由于第一螺丝以及第二螺丝转动时作用在承压片以及方形垫片上,因此金属丝固定后不会旋转偏移,该夹具在固定金属丝后,金属丝不会旋转偏移,有效地提高镀膜质量以及效率。
附图说明
图1为本实用新型的纵剖结构示意图。
图2为本实用新型方形垫片的局部结构示意图。
图3为本实用新型的整体结构示意图。
附图标记为:1、夹具本体;2、通管;3、第一螺丝;4、第二螺丝;5、插槽;6、方形垫片;7、第一半管;8、第二半管;9、承压片;10、弹簧;11、垫片;12、金属丝。
具体实施方式
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的