[实用新型]一种晶圆干燥装置

权利要求书

1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括：盖槽，配置于盖槽内的分汽管道及弥散板，弥散板上设有若干弥散孔，弥散孔包括分别位于弥散板上下表面的进汽口、出汽口及贯通进汽口和出汽口的腔室，进汽口的口径大于出汽口的口径，混合汽体由分汽管道输送至弥散板，由弥散孔的进汽口进入，经过腔室整流后由出汽口输出。

2.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述腔室包括顺序连接的至少两个腔体，其中至少一个所述腔体的口径渐变。

3.根据权利要求2所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述腔室包括顺序连接的第一腔体、第二腔体、第三腔体及第四腔体，所述第一腔体和第三腔体为内径渐缩的截锥状，所述第二腔体和所述第四腔体为直圆柱状。

4.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述盖槽包括环状的主体及盖设于所述主体上方的盖板，所述盖板具有上盖及竖直连接于所述上盖的围板。

5.根据权利要求4所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述弥散板连接于所述围板的下端面，所述弥散板与所述盖板连接形成收容腔，所述分汽管道连接于所述收容腔内。

6.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述弥散板由PPS、PEEK或PVC制成，所述弥散板的内表面或外表面涂覆有疏水性涂层。

7.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述分汽管道的延伸方向与所述盖槽的纵向延伸方向相同，所述分汽管道的两端固定于所述盖槽内。

8.根据权利要求7所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述分汽管道包括设置于所述分汽管道一端的主进汽口，及排布于所述分汽管道侧部的若干个出汽孔。

9.根据权利要求8所述的晶圆干燥装置，其特征在于，若干个所述出汽孔沿所述分汽管道的延伸方向排列成两行，两行所述出汽孔相对于所述分汽管道的纵向轴剖面对称设置。

10.根据权利要求9所述的晶圆干燥装置，其特征在于，所述出汽孔的中轴线与竖直方向的夹角α设置为大于15°。