[实用新型]一种晶圆移动机构

权利要求书

1.一种晶圆移动机构，其特征在于：它包括两轴移动模块（1）和旋转模块（2），所述旋转模块（2）设置在所述两轴移动模块（1）的活动端，所述旋转模块（2）包括固定板（3），所述固定板（3）上依次设置有旋转块（4）、吸盘（5）以及承接板（6），所述固定板（3）上设置有第一驱动电机（7）且所述第一驱动电机（7）与所述旋转块（4）传动连接，所述吸盘（5）上设置有若干个与外部真空源导通的吸嘴（8），所述吸盘（5）的底部设置有第二驱动电机（9）和传动块（10），所述传动块（10）与所述第二驱动电机（9）配合实现升降动作，所述传动块（10）的两端均设置有与所述吸盘（5）配合的挡块（11）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述吸盘（5）上设置有若干个气缸（12），所述气缸（12）传动连接有导柱（13），所述导柱（13）穿过所述吸盘（5）与晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品的缺口（14）适配。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述两轴移动模块（1）包括底板（15）和安装板（16），所述底板（15）上设置有Y轴直线模组（17）以及两组与所述Y轴直线模组（17）平行的Y轴导轨（18），所述安装板（16）的一端设置在所述Y轴直线模组（17）的活动端，所述安装板（16）的另一端与两组所述Y轴导轨（18）滑动配合，所述安装板（16）上设置有X轴直线模组（19）以及两组与所述X轴直线模组（19）平行的X轴导轨（20），所述固定板（3）的一端设置在所述X轴直线模组（19）的活动端，所述固定板（3）的另一端与两组所述X轴导轨（20）滑动配合。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述安装板（16）靠近所述X轴导轨（20）的一端设置有第一安装块（22），所述第一安装块（22）上设置有与所述固定板（3）配合的X轴光栅尺（21）。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述底板（15）靠近所述Y轴导轨（18）的一端设置有第二安装块（24），所述第二安装块（24）上设置有与所述安装板（16）配合的Y轴光栅尺（23）。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述安装板（16）的两端对称设置有第一缓冲器（25），所述第一缓冲器（25）与所述X轴导轨（20）上的滑块配合。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述底板（15）的两端对称设置有第二缓冲器（26），所述安装板（16）的底部设置有凸块（27），所述第二缓冲器（26）与所述凸块（27）配合。