[实用新型]一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮

权利要求书

1.一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮，其特征在于：包括外轮(1)和连接结构(200)，所述外轮(1)的内侧设置有连接结构(200)，所述连接结构(200)的内侧设置有减震结构(300)；

所述连接结构(200)包括两个卡接槽(201)，所述外轮(1)的内侧活动连接有内轮(202)，所述内轮(202)的顶部和底部均固定连接有卡块(203)，所述内轮(202)的正面开设有四个螺纹槽(204)，所述外轮(1)的正面活动连接有第一加强圈(205)，所述外轮(1)的后侧活动连接有第二加强圈(206)，所述内轮(202)的左右两侧壁均固定连接有固定盒(207)，所述固定盒(207)的内侧插接有插杆(208)，所述插杆(208)的外侧套接有第一弹簧(209)。

2.根据权利要求1所述的一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮，其特征在于：所述减震结构(300)包括轴承(301)，所述轴承(301)的外侧固定连接有轮毂(302)，所述轮毂(302)的外侧固定连接有六个固定柱(303)。

3.根据权利要求2所述的一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮，其特征在于：所述内轮(202)的内侧固定连接有六个支撑柱(304)，所述支撑柱(304)的外侧套接有第二弹簧(305)，所述固定柱(303)的内底壁固定连接有空气弹簧(306)。

4.根据权利要求1所述的一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮，其特征在于：两个所述卡接槽(201)分别开设在外轮(1)正面的顶部和底部，所述卡块(203)远离内轮(202)的一侧位于卡接槽(201)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮，其特征在于：所述第一加强圈(205)和第二加强圈(206)的直径相同，所述第一加强圈(205)的直径小于外轮(1)的直径，所述外轮(1)的外侧固定连接有包胶层。

6.根据权利要求1所述的一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮，其特征在于：两个所述插杆(208)的相背一侧均贯穿内轮(202)并延伸至外轮(1)的内部，所述固定盒(207)的内侧固定连接有限位环，所述第一弹簧(209)位于固定盒(207)的内部。

7.根据权利要求6所述的一种不易变形且防脱胶的半导体清洗设备专用包胶轮，其特征在于：两个所述插杆(208)的相对一侧均依次贯穿第一弹簧(209)、限位环和固定盒(207)并延伸至固定盒(207)的外侧，两个所述插杆(208)的相对一侧均固定连接有圆环。