[实用新型]一种半导体芯片等离子清洗机的传料装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体芯片等离子清洗机的传料装置，包括底座、左侧板、右侧板、第一平移机构、第二平移机构和测距传感器，底座上设置有导轨，左侧板和右侧板均与导轨滑动连接，且左侧板和右侧板一一对应设置，第一平移机构和第二平移机构均安装在底座上，第一平移机构驱动左侧板沿导轨作平移运动，第二平移机构驱动右侧板沿导轨作平移运动，且左侧板与右侧板的移动方向相反，左侧板和右侧板上分别安装有输送机构，底座上设置有挡板，并挡板位于导轨中部，两个测距传感器分别安装在靠近挡板的左侧板和右侧板上。采用本实用新型，实现减少等离子清洗机其余部件的位置调节的功能，缩短调节时间。

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗机领域，尤其涉及一种半导体芯片等离子清洗机的传料装置。

背景技术

等离子清洗机是通过等离子体放电清洗芯片框架或PCB集板等半导体芯片的装置。现有的等离子清洗机配备有上下料机构，可对应不同宽度的半导体芯片使用，但上下料机构上的大多数部件为单侧调节，如传料装置，传料装置一侧位置为固定，另一侧为可调，以实现传送装置可输送不同宽度的半导体芯片。但这样调节方式需要对应调节其余部件，如推爪的位置，以使得推爪与半导体芯片的中心线位置相对应，因此，调节步骤繁琐，耗时长。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种半导体芯片等离子清洗机的传料装置，实现减少等离子清洗机其余部件的位置调节的功能，缩短调节时间。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种半导体芯片等离子清洗机的传料装置，包括底座、左侧板、右侧板、第一平移机构、第二平移机构和测距传感器，所述底座上设置有导轨，等距设置的若干左侧板和等距设置的若干右侧板均与导轨滑动连接，且左侧板和右侧板一一对应设置，第一平移机构和第二平移机构均安装在底座上，第一平移机构驱动若干左侧板沿导轨作平移运动，第二平移机构驱动若干右侧板沿导轨作平移运动，且左侧板与右侧板的移动方向相反，左侧板和右侧板上分别安装有用于往前输送半导体芯片的输送机构，所述底座上设置有挡板，并挡板位于所述导轨中部，两个测距传感器分别安装在靠近挡板的左侧板和右侧板上，分别用于检测左侧板和右侧板分别与挡板之间的距离。

其中，所述输送机构包括上压轮组件、下输送组件和承料条，所述承料条安装在左侧板或右侧板上，承料条上开有水平通槽，上压轮组件和下输送组件均安装在左侧板或右侧板上，且上压轮组件为水平通槽上方，下输送组件位于水平通槽下方。

其中，两个所述上压轮组件对称设置在所述左侧板或右侧板上，所述上压轮组件包括安装座、悬臂杆、连杆、上滚轮和拉簧，安装座安装在所述左侧板或右侧板上，连杆一端与安装座转动连接，另一端与上滚轮转动连接，上滚轮贯穿所述承料条并延伸至水平通槽内，悬臂杆一端固定在安装座上，所述拉簧两端分别与悬臂杆和连杆连接，悬臂杆上螺纹连接有压杆，且压杆下末端与连杆相抵。

其中，所述下输送组件包括动力源、传动杆、主动轮、从动轮和输送带，所述动力源安装在所述底座上，传动杆与底座转动连接，所述主动轮与左侧板或右侧板转动连接，主动轮与传动杆滑动连接，并传动杆可驱动主动轮转动，两个从动轮分别与左侧板或右侧板转动连接，输送带套接在主动轮和从动轮的轮面上，且输送带的输送面与所述水平通槽的下侧面在同一水平面上，所述左侧板或右侧板上转动连接有用于压紧输送带的过渡轮。

其中，所述传动杆为多边形轴或花键轴。

其中，所述测距传感器为超声波传感器、激光传感器或红外线传感器。

其中，所述第一平移机构包括第一步进电机、第一丝杠和第一丝杠螺母，第一步进电机安装在所述底座上，所述第一丝杠与所述底座转动连接，第一步进电机驱动第一丝杠转动，第一丝杠螺母安装在所述左侧板上，第一丝杠与第一丝杠螺母配合。