[实用新型]一种半导体靶材夹具

权利要求书

1.一种半导体靶材夹具，其特征在于，所述的半导体靶材夹具包括本体，所述本体表面设置有定位板和第一定位销，所述的定位板表面开设至少两个限位槽，所述限位槽底部设置磁铁，将所述第一定位销插入限位槽内，所述的磁铁与第一定位销过盈配合实现半导体靶材的定位。

2.根据权利要求1所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述的半导体靶材夹具包括至少两个压板，所述的压板与本体可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述的压板表面开设导向通槽，所述本体表面开设与压板数量相同的通孔，将螺钉依次插入导向通槽和通孔内，所述的压板紧贴半导体靶材表面，防止半导体靶材发生滑动。

4.根据权利要求1所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述本体靠近半导体靶材一侧的表面设置至少两个隔板，所述的隔板环绕本体中心均匀分布，所述的隔板撑起半导体靶材，使得本体与半导体靶材之间留有空隙。

5.根据权利要求1所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述的半导体靶材夹具还包括至少一个第二定位销，所述本体中部开设至少一个固定通孔，所述第二定位销插入固定通孔内将本体可拆卸固定于工作台。

6.根据权利要求1所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述本体远离半导体靶材一侧的表面设置环形凹槽，所述本体表面开设至少两个螺纹孔，将螺栓插入螺纹孔内锁紧在工作台上，防止本体发生移动。

7.根据权利要求1所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述本体靠近半导体靶材一侧表面的外缘向中心开设把持槽，所述的把持槽与半导体靶材外缘之间留有空隙。

8.根据权利要求4所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述的本体为圆盘结构，所述本体的中心线与半导体靶材的中心线重合。

9.根据权利要求1所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述本体的表面刻有标记半导体靶材直径的刻度线。

10.根据权利要求1所述的半导体靶材夹具，其特征在于，所述本体的表面还刻有标记压板位置的限位框。