[实用新型]一种晶圆再生装置用改进型连接机构

权利要求书

1.一种晶圆再生装置用改进型连接机构，包括主体(1)、连接机构(2)和安装拆卸机构(3)，其特征在于，所述主体(1)包括有外壳(101)，所述外壳(101)的内部设置有晶圆篮(102)，所述晶圆篮(102)的一侧连接有插杆(103)，所述外壳(101)的一侧外壁连接有安装板(104)，所述安装板(104)的上方安装有电机(105)，所述连接机构(2)位于安装板(104)的上方，所述安装拆卸机构(3)位于晶圆篮(102)的内部；

其中，所述连接机构(2)包括有两个转动盘(201)、皮带(202)、半齿轮(203)、活动盘(204)、安装座(205)、第一卡齿(206)、第二卡齿(207)、固定齿轮(208)、连接轴(209)、安装块(210)以及固定杆(211)，两个所述转动盘(201)位于电机(105)的一端，所述皮带(202)位于两个所述转动盘(201)的外壁，所述半齿轮(203)位于一个所述转动盘(201)的一端，所述活动盘(204)位于半齿轮(203)的外侧，所述安装座(205)位于活动盘(204)的上方并位于外壳(101)的一侧，所述第一卡齿(206)位于活动盘(204)的内壁并与半齿轮(203)相啮合，所述第二卡齿(207)位于活动盘(204)的顶端，所述固定齿轮(208)位于第二卡齿(207)的上方并与其相啮合，所述连接轴(209)位于固定齿轮(208)的一端并贯穿至外壳(101)的内部，所述安装块(210)位于连接轴(209)远离固定齿轮(208)的一端，所述固定杆(211)位于安装块(210)的内部并贯穿至晶圆篮(102)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生装置用改进型连接机构，其特征在于，所述安装拆卸机构(3)包括有拉块(301)、压缩弹簧(302)、限位槽(303)、限位块(304)以及复位弹簧(305)，所述拉块(301)位于固定杆(211)的顶端并位于安装块(210)的上方，所述压缩弹簧(302)位于固定杆(211)的外壁并位于安装块(210)的内部，所述限位槽(303)位于固定杆(211)的底端两侧内壁，所述限位块(304)位于限位槽(303)的内壁并位于晶圆篮(102)的内部，所述复位弹簧(305)位于限位块(304)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆再生装置用改进型连接机构，其特征在于，所述电机(105)与转动盘(201)通过转轴、联轴器转动连接，所述转动盘(201)的外径尺寸与皮带(202)的内径尺寸大小相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆再生装置用改进型连接机构，其特征在于，所述转动盘(201)与半齿轮(203)通过转轴、轴承转动连接，所述固定齿轮(208)与连接轴(209)固定连接，所述外壳(101)的内壁设置有与连接轴(209)移动轨迹相匹配的通槽。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆再生装置用改进型连接机构，其特征在于，所述外壳(101)的内壁设置有与插杆(103)移动轨迹相匹配的滑槽。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆再生装置用改进型连接机构，其特征在于，所述安装块(210)的内部设置有与固定杆(211)相匹配的贯穿孔，所述晶圆篮(102)的内部设置有与固定杆(211)相匹配的连接槽。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆再生装置用改进型连接机构，其特征在于，所述限位块(304)的一端呈弧形，且限位槽(303)的内壁与限位块(304)的外壁相贴合，所述复位弹簧(305)的一端与晶圆篮(102)固定连接。