[实用新型]转塔式半导体分立器件测试设备

说明书

本实用新型公开一种转塔式半导体分立器件测试设备，基座上有位于同一圆周轨迹等距离的多个测试站，基座上方有可旋转主塔，主塔下方有与测试站距离匹配的多个吸嘴，被测试器件输送轨道出口与测试站之间还有方向校正座，基座还有光纤固定支座，光纤固定支座上有光纤传感器的光纤对射光路，该光纤对射光路对准吸嘴上被测试器件的运行轨迹，吸嘴上的被测试器件通过光纤对射光路时阻挡光纤对射光路，光纤传感器电信号接入测试设备控制系统。可以确保测试系统每一次计数都有产品输入，并使输入产品数量之和等于良品和不良品计数之和。

技术领域

本实用新型涉及一种转塔式半导体分立器件测试设备。

背景技术

转塔式半导体分立器件测试设备进行半导体器件电性测试过程中需要对被测试器件的测试结果进行区分，将良品和不良品分别送入对应通道收集，同时对测试总量、良品和不良品数量分别计数，测试工作结束后，必须核对各收集通道的数量，各通道计数器显示的测试数量必须与对应通道的实物数量一致，且各通道产品数量之和等于产品的测量总量。出现任何数量偏差，必须进行重新测试，以确保没有不良品混入到良品之中。然而，采用已有转塔式半导体分立器件测试设备，经常会出现测试总量不等于良品和不良品数量之和，重复测试很大程度上降低了设备产能。其原因是，当测试站无产品时，测试爪正常测试，测试系统计数一次。由于此时实际无产品，测试站测试后判定为一个不良品，但不良品收集通道没有感应到产品进入而没有计数，最终导致测试数量偏差。

发明内容

本实用新型的目的在于解决上述问题，提供一种可校正测试数量的转塔式半导体分立器件测试设备。

本实用新型的转塔式测试设备，包括基座，基座上有位于同一圆周轨迹等距离的多个测试站，每一测试站可对一个被测试器件进行一项测试，基座上方有可旋转主塔，主塔下方有与测试站距离匹配的多个吸嘴，主塔每旋转步进一次，吸嘴从前一测试站移动匹配到下一个测试站，每一吸嘴下降时可从测试站上吸取或释放一个被测试器件，被测试器件输送轨道出口与测试站之间还有校正被测试器件摆放方向的方向校正座，所述基座还有光纤固定支座，位于被测试器件输送轨道出口与方向校正座之间，光纤固定支座上有光纤传感器的光纤对射光路，该光纤对射光路对准吸嘴上被测试器件的运行轨迹，吸嘴上的被测试器件通过光纤对射光路时阻挡光纤对射光路，光纤传感器电信号接入测试设备控制系统。

所述光纤传感器采用外径为φ3(mm)的FT-320-05对射光纤传感器和FX-501-C2光纤放大器。

本实用新型可以检测到转塔机测试站被测试器件是否到位，并对到位的被测试器件进行准确计数，同时，当光纤传感器检测不到产品时，测试爪不进行测试，测试系统不再计数，确保测试系统每一次计数都有产品输入，并使输入产品数量之和等于良品和不良品计数之和。

附图说明

图1是本实用新型一种实施方式示意图

图2是图1的前视图。

图3是图1的轴向图。

附图标记：1-基座，2-被测试器件输送轨道，3-第二测试站，4-第一测试站，5-方向校正座，6-光纤固定支座，7-吸嘴，8-光纤对射接口，9-主塔。

具体实施方式