[实用新型]转塔式半导体分立器件测试设备

权利要求书

1.一种转塔式半导体分立器件测试设备，包括基座，基座上有位于同一圆周轨迹等距离的多个测试站，每一测试站可对一个被测试器件进行一项测试，基座上方有可旋转主塔，主塔下方有与测试站距离匹配的多个吸嘴，主塔每旋转步进一次，吸嘴从前一测试站移动匹配到下一个测试站，每一吸嘴下降时可从测试站上吸取或释放一个被测试器件，被测试器件输送轨道出口与测试站之间还有校正被测试器件摆放方向的方向校正座，其特征在于，所述基座还有光纤固定支座，位于被测试器件输送轨道出口与方向校正座之间，光纤固定支座上有光纤传感器的光纤对射光路，该光纤对射光路对准吸嘴上被测试器件的运行轨迹，吸嘴上的被测试器件通过光纤对射光路时阻挡光纤对射光路，光纤传感器电信号接入测试设备控制系统。

2.根据权利要求1所述转塔式半导体分立器件测试设备，其特征在于，所述光纤传感器采用外径为φ3mm的FT-320-05对射光纤传感器和FX-501-C2光纤放大器。