[实用新型]一种芯片双面光电特性综合检测系统和装置

权利要求书

1.一种芯片双面光电特性综合检测系统，其特征在于，包括气浮基座(5)、样品可调夹具(4)、正面检测探针机构(2)和背面检测探针机构(6)，其中：

气浮基座(5)用于采用空气动力作为移动支撑，为样品可调夹具(4)提供气浮动力使得样品可调夹具(4)气浮后可轻松快速移动到所测芯片样品位置处；

样品可调夹具(4)用于通过其上的样品台(41)夹持固定芯片；

正面检测探针机构(2)用于调节固定在其联动针座上的探针并带动探针对芯片的正面进行扎针测试；

背面检测探针机构(6)用于调节固定在其联动针座上的探针并带动探针对芯片的背面进行扎针测试。

2.如权利要求1所述的一种芯片双面光电特性综合检测系统，其特征在于，还包括光学特性检测装置，所述光学特性检测装置包括供电模块、光学检测设备和显示系统，

所述供电模块用于为芯片的有源光学元件供电而辐射光源，以此输出光信号；还包括降压电路和开关电源模块，所述供电模块与降压电路、开关电源模块依次电连接，以此输出可调解的电压值；

所述光学检测设备用于接收并处理上述光信号，并将处理结果发送至显示系统；所述光学检测设备包括光敏电阻、光子探测器或光电检测器中的至少一种；

所述显示系统用以显示处理信息。

3.如权利要求1所述的一种芯片双面光电特性综合检测系统，其特征在于，还包括双头倒置显微检测机构(7)，双头倒置显微检测机构(7)用于调节倒置的双头显微镜并带动倒置的双头显微镜分别对芯片的正面和背面进行表面显微观察及扎针测试；

还包括显微镜微调机构(8)，显微镜微调机构(8)用于配合双头倒置显微检测机构(7)实现包括但不限于如下动作：显微镜倍数缩放调节和显微镜空间位置调节。

4.如权利要求1所述的一种芯片双面光电特性综合检测系统，其特征在于，所述样品可调夹具(4)包括样品台(41)、支撑板(42)、调节旋钮(43)、丝杆(44)、滑板(45)和滑轨底座(46)，滑轨底座(46)配合在气浮基座(5)顶面；支撑板(42)竖直固定在滑轨底座(46)上表面，且支撑板(42)上设有螺纹孔，调节旋钮(43)配合固定在螺纹孔处；滑板(45)竖直配合在滑轨底座(46)上且和支撑板(42)平行；丝杆(44)的一端配合连接滑板(45)、另一端配合连接调节旋钮(43)；样品台(41)固定在支撑板(42)顶部。

5.如权利要求4所述的一种芯片双面光电特性综合检测系统，其特征在于，正面检测探针机构(2)和背面检测探针机构(6)对称设于所述支撑板(42)两侧。

6.如权利要求5所述的一种芯片双面光电特性综合检测系统，其特征在于，正面检测探针机构(2)包括第一正面底座(202)、第一正面检测探针(203)、第二正面底座(204)和第二正面检测探针(205)，第一正面底座(202)和第二正面底座(204)上下平行布置，第一正面检测探针(203)和第二正面检测探针(205)分别固定在第一正面底座(202)和第二正面底座(204)的上表面上。

7.如权利要求5所述的一种芯片双面光电特性综合检测系统，其特征在于，背面检测探针机构(6)包括第一背面底座(604)、第一背面检测探针(603)、第二背面底座(602)和第二背面检测探针(601)，第一背面底座(604)和第二背面底座(602)上下平行布置，第一背面检测探针(603)和第二背面检测探针(601)分别固定在第一背面底座(604)和第二背面底座(602)的上表面上。

8.一种芯片双面光电特性综合检测装置，其特征在于，包括权利要求3-7任一项所述的一种芯片双面光电特性综合检测系统；还包括插板底座(1)和龙门支架(3)，所述龙门支架(3)垂直安装在插板底座(1)上表面；气浮基座(5)固定在插板底座(1)上表面，正面检测探针机构(2)和背面检测探针机构(6)对称固定在龙门支架(3)前侧面上；显微镜微调机构(8)固定在插板底座(1)上。