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- [发明专利]Bax-CN202310882307.8在审
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顾宗铨;于浦;殷立峰;徐鸿涛;许凯;陆冰彬
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复旦大学
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2023-07-18
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2023-10-27
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C23C14/06
- 本发明属于射频微波技术领域，具体为一种BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备办法。本发明方法包括：精确标定出各BaxSr1‑xTiO3成分的薄膜和衬底组合的微波介电谐振的工作温区；通过相场模型描绘铁电极化P在畴壁区域的实际分布，并结合分子动力学方法计算畴壁区域的原子运动轨迹，寻找局域性的声子散射模式，厘清ωr反转的微观机制；应用上述理论，以BaTiO3和SrTiO3的靶材，设计实现梯度成分的BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备。本发明设计的BaxSr1‑xTiO3薄膜通过平均各单一成分在薄膜整体介电响应中的贡献，提升了薄膜的微波介电性能对温度的响应，为解决器件在实际应用中的发热问题提供解决方案。
- babasesub
- [实用新型]一种柔性探针组件-CN202221423355.8有效
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王乾龙;俞方能;雷旺;罗鑫依;陆冰彬
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英铂科学仪器（上海）有限公司
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2022-06-07
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2022-11-29
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G01R1/067
- 本实用新型属于半导体超低温检测技术领域，公开了一种柔性探针组件，包括具有导热性的安装基板，还包括探针、柔性连接件和电信接头；所述探针连接在柔性连接件上，并通过柔性连接件与所述安装基板连接；所述柔性连接件通过导线与所述电信接头连接，电信接头用于将电信参数引出所述柔性探针组件外；所述柔性连接件具有弹性结构，以通过弹性结构抵消柔性连接件由于热胀冷缩带来的应力。本实用新型通过以具有弹性结构的柔性连接件作为探头臂，在自动连续变温实验中，可抵消热胀冷缩带来的应力，实现自动补偿热铆钉探头的探头臂的温度膨胀，显著提高了测量的稳定性，并且柔性探针允许连续的变温实验，减少了反复落针带来的连接问题。
- 一种柔性探针组件
- [实用新型]一种探针座-CN202120720243.8有效
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陆冰彬
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英铂科学仪器（上海）有限公司
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2021-04-08
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2021-12-21
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G01R1/067
- 本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了一种探针座，包括基座，设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构，所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母；本实用新型提供的一种探针座，解决了现有探针座调试精度不高，安装结构设计复杂的问题。
- 一种探针
- [实用新型]一种探针台真空腔装置-CN202120720298.9有效
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陆冰彬
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英铂科学仪器（上海）有限公司
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2021-04-08
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2021-12-21
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G01R1/04
- 本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了一种探针台真空腔装置，包括真空腔体以及与真空腔体连通的抽真空管道，真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，外腔体和内腔体之间为保温腔，外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，内腔体内设有载物台，载物台的高度与探测孔的高度相适应，载物台上设有加热模块和温度传感器，载物台内设有冷源循环通道，冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部；本实用新型提供的一种探针台真空腔装置，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低的问题。
- 一种探针空腔装置
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