[发明专利]取向特性测定方法、取向特性测定程序及取向特性测定装置有效
| 申请号： | 201780091062.X | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110651177B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 细川清正;江浦茂 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/64;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 取向特性测定系统(1)具备：照射光学系统(5)，其朝向配置于透明性基板(S1)上的试样照射激发光；检测光学系统(11)，其引导自试样发出的荧光；光检测器(13)，其检测荧光；旋转机构(9)，其变更试样的荧光出射侧的面的垂线与检测光学系统(11)的光轴(L2)所成的角(φ)；及计算机(15)，其计算试样的取向参数(S)；计算机(15)具有：旋转机构控制部(32)，其控制旋转机构(9)；分布取得部(34)，其将光强度的角度依赖性分布标准化而取得光强度的角度依赖性分布；区域特定部(35)，其基于光强度的角度依赖性分布而特定出极大区域的光强度；及参数计算部(36)，其基于由试样的膜厚及折射率决定的线性关系及极大区域的光强度而计算取向参数(S)。 | ||
| 搜索关键词： | 取向 特性 测定 方法 程序 装置 | ||
【主权项】：
1.一种取向特性测定方法，其特征在于，/n是使用照射光学系统、检测光学系统及光检测器来计算试样的取向参数的方法，所述照射光学系统具有规定的折射率，且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的所述试样照射照射光，所述检测光学系统对伴随着所述照射光的照射而自所述试样发出的检测光进行导光，所述光检测器检测所述检测光，/n所述取向特性测定方法具备：/n检测步骤，其一边变更所述试样的所述检测光的出射侧的面的垂线与所述检测光学系统的光轴所成的角，一边使用所述光检测器检测所述检测光而输出检测信号；/n取得步骤，其基于自所述检测信号得到的光强度的角度依赖性分布，以所述所成的角为0度时的所述光强度，将所述所成的角为规定范围的所述光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；/n特定步骤，其基于所述经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大区域的光强度；及/n计算步骤，其基于由所述规定的膜厚及所述规定的折射率决定的光强度及与所述取向参数关联的值之间的线性关系、以及所述极大区域的光强度，计算所述取向参数。/n
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