[实用新型]分段固定机构及扩晶装置

权利要求书

1.一种分段固定机构，其特征在于：

所述分段固定机构包括多个分块、第一紧固件、第二紧固件和滑轨组件，所述第二紧固件能够将至少两个所述分块连锁，以形成分块组；所述分块安装于所述滑轨组件，并能够沿所述滑轨组件的导向方向滑动；

所述分块组滑至预设位置时，所述分块组中至少一个所述分块能够与所述第二紧固件分离，并能够通过所述第一紧固件固定。

2.如权利要求1所述的分段固定机构，其特征在于：所述分块上设有凸出部和凹陷部，所述凸出部与所述凹陷部相匹配，以能够使所述凸出部伸入所述凹陷部，进而使多个所述分块相匹配；所述凸出部和所述凹陷部相对应位置处设有通孔，所述第二紧固件穿设于所述通孔，以将两个所述分块连锁。

3.一种扩晶装置，其特征在于：包括如权利要求1-2任一项所述的分段固定机构，所述扩晶装置还包括工作台和拉伸机构，所述分段固定机构和所述拉伸机构安装于所述工作台，所述分段固定机构与所述拉伸机构连接，以使所述拉伸机构能够拉动靠近其的所述分块移动。

4.如权利要求3所述的扩晶装置，其特征在于：所述扩晶装置还包括吸附机构和第一固定机构，所述吸附机构、所述第一固定机构和所述拉伸机构安装于所述工作台，所述吸附机构用于吸附承晶膜，所述承晶膜用于承载器件，所述承晶膜包括相对设于所述承晶膜两端的第一端和第二端；所述第一固定机构与所述第一端固定连接，以将所述第一端与所述吸附机构固定；所述拉伸机构与所述第二端连接，所述拉伸机构用于将所述第二端向远离所述第一固定机构方向拉伸，以扩张所述承晶膜。

5.如权利要求4所述的扩晶装置，其特征在于：所述分段固定机构还包括连接件，所述分块上设有连接槽，通过将所述连接件插入所述连接槽以将所述分块与所述承晶膜连接。

6.如权利要求4所述的扩晶装置，其特征在于：所述吸附机构包括平台和加热组件，所述平台上设有吸附孔，所述吸附孔用于吸附所述承晶膜；所述加热组件用于加热所述平台，以使所述平台能够加热所述承晶膜。

7.如权利要求4所述的扩晶装置，其特征在于：所述扩晶装置还包括第二固定机构，所述第二固定机构安装于所述工作台，所述第二端和所述拉伸机构分别与所述第二固定机构连接，以使所述拉伸机构能够通过驱动所述第二固定机构向远离所述第一固定机构方向移动，带动所述第二端移动；靠近所述第二固定机构的所述分块与所述第二固定机构固定连接。

8.如权利要求7所述的扩晶装置，其特征在于：所述扩晶装置还包括导向机构，所述导向机构安装于所述工作台，所述第二固定机构安装于所述导向机构，以能够在所述导向机构的导向下远离所述第一固定机构；所述导向机构的导向方向与所述滑轨组件的延伸方向相平行。

9.如权利要求8所述的扩晶装置，其特征在于：所述拉伸机构包括拉伸组件和锁定组件，所述拉伸组件用于牵引所述第二固定机构远离所述第一固定机构，所述锁定组件用于当所述拉伸组件将所述第二固定机构拉至所述预设位置时，将所述拉伸组件锁定，以停止拉动所述第二固定机构。

10.如权利要求9所述的扩晶装置，其特征在于：所述导向机构包括导轨和定位件，所述导轨安装于所述工作台，所述定位件安装于所述工作台，所述定位件用于定位所述预设位置。