[实用新型]一种硅片承载花篮和插片机有效
| 申请号: | 202121000547.3 | 申请日: | 2021-05-11 |
| 公开(公告)号: | CN215988680U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
| 发明(设计)人: | 赵光才 | 申请(专利权)人: | 楚雄隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
| 地址: | 651299 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 承载 花篮 插片机 | ||
本实用新型提供了一种硅片承载花篮和插片机,所述硅片承载花篮具体可以包括:花篮本体和底杆,其中,所述底杆设置于所述花篮本体的底部,用于承载硅片;所述底杆包括杆体和壳体,所述壳体包裹于所述杆体外,所述壳体与所述杆体为一体结构。本实用新型实施例中,壳体和杆体为一体结构,可以避免杆体和壳体之间出现积水现象,进而避免所述硅片受到污染,提高了所述硅片的品质和清洗效率。
技术领域
本实用新型涉及硅片承载结构技术领域,特别是涉及一种硅片承载花篮和插片机。
背景技术
近年来,光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种,日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料,有着广泛的市场需求。目前光伏行业中,针对金刚线切割后的硅片主要使用花篮进行插片,然后再进行清洗,得到干净的硅片。
在实际应用中,花篮中通常设有对硅片底部进行承托的底杆,并在底杆上包覆缓冲件,底杆可有效保证花篮不易变形,缓冲件可起到一定的缓冲作用,避免作业过程中硅片碰撞受损。
然而,缓冲件与底杆之间存在缝隙,长时间使用后,缓冲件容易出现破损,清洗机内的脏污溶液容易在清洗过程中渗入所述缝隙,后续烘干过程中,脏污溶液受高温作用容易喷出,并附着于硅片表面,导致硅片受到污染,使得硅片需要返工或作降级处理,降低了硅片的品质和清洗效率。
实用新型内容
鉴于上述问题,提出了本实用新型以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种硅片承载花篮和插片机。
为了解决上述问题,第一方面本实用新型公开了一种硅片承载花篮,所述硅片承载花篮包括:花篮本体和底杆,其中,
所述底杆设置于所述花篮本体的底部,用于承载硅片;
所述底杆包括杆体和壳体,所述壳体包裹于所述杆体外,所述壳体与所述杆体为一体结构。
可选地,所述壳体为金属件,所述杆体为塑胶件,所述金属件和所述塑胶件为一体注塑成型结构。
可选地,所述金属件为不锈钢结构件,所述塑胶件为聚氯乙烯结构件。
可选地,所述壳体包括第一凸起结构,所述第一凸起结构沿所述杆体向所述花篮本体的顶部延伸,所述第一凸起结构用于与所述硅片接触。
可选地,沿从所述杆体至所述花篮本体顶部的方向,所述第一凸起结构的横截面积依次递减。
可选地,所述壳体还包括第二凸起结构,所述第二凸起结构与所述第一凸起结构相对所述杆体中心对称。
可选地,所述杆体的两端外露于所述壳体的两端;
所述花篮本体的一端设有第一穿设孔,所述花篮本体的另一端设有第二穿设孔,所述第二穿设孔与所述第一穿设孔相对设置;
所述杆体的一端穿设于所述第一穿设孔,另一端穿设于所述第二穿设孔。
可选地,所述花篮本体的底部还设有多个支撑杆,多个所述支撑杆与所述底杆间隔设置,每个所述支撑杆的两端分别连接于所述花篮本体的两端。
可选地,所述底杆的纵截面高度大于所述支撑杆的纵截面高度;
在所述底杆用于承载硅片的情况下,所述底杆与所述硅片之间存在间隙。
第二方面,本实用新型实施例公开了一种插片机,包括上述硅片承载花篮。
本实用新型包括以下优点:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





