[实用新型]一种硅片承载花篮和插片机

权利要求书

1.一种硅片承载花篮，其特征在于，所述硅片承载花篮包括：花篮本体和底杆，其中，

所述底杆设置于所述花篮本体的底部，用于承载硅片；

所述底杆包括杆体和壳体，所述壳体包裹于所述杆体外，所述壳体与所述杆体为一体结构。

2.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述壳体为金属件，所述杆体为塑胶件，所述金属件和所述塑胶件为一体注塑成型结构。

3.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述金属件为不锈钢结构件，所述塑胶件为聚氯乙烯结构件。

4.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述壳体包括第一凸起结构，所述第一凸起结构沿所述杆体向所述花篮本体的顶部延伸，所述第一凸起结构用于与所述硅片接触。

5.根据权利要求4所述的硅片承载花篮，其特征在于，沿从所述杆体至所述花篮本体顶部的方向，所述第一凸起结构的横截面积依次递减。

6.根据权利要求4所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述壳体还包括第二凸起结构，所述第二凸起结构与所述第一凸起结构相对所述杆体中心对称。

7.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述杆体的两端外露于所述壳体的两端；

所述花篮本体的一端设有第一穿设孔，所述花篮本体的另一端设有第二穿设孔，所述第二穿设孔与所述第一穿设孔相对设置；

所述杆体的一端穿设于所述第一穿设孔，另一端穿设于所述第二穿设孔。

8.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述花篮本体的底部还设有多个支撑杆，多个所述支撑杆与所述底杆间隔设置，每个所述支撑杆的两端分别连接于所述花篮本体的两端。

9.根据权利要求8所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述底杆的纵截面高度大于所述支撑杆的纵截面高度；

在所述底杆用于承载硅片的情况下，所述支撑杆与所述硅片之间存在间隙。

10.一种插片机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的硅片承载花篮。