[实用新型]一种可感应温度的水循环系统

说明书

本实用新型公开了一种可感应温度的水循环系统，包括：加热槽，所述加热槽上设有注水管和回流管；集液副槽，所述集液副槽分别与所述注液管和所述回流管连接，所述加热槽、所述回流管、所述集液副槽和所述注水管组成加热循环组件；药液容器，设置在加热槽内；感温组件，包括设置在所述药液容器内的第一温度传感和设置在所述加热槽内的第二温度传感器；加热器，设置在所述集液副槽内。本实用新型可以保证药液温度均匀，保持沉积速率的稳定性，实现均匀温和加热的效果，能够合理设置加热温度，根据实际情况进行合理调整，充分利用水资源，节约用水。

技术领域

本实用新型涉及加热设备技术领域，特别涉及一种可感应温度的水循环系统。

背景技术

在半导体封装基板制作加工过程中，金属加热槽的药液温度决定了基板的金属厚度和品质。现有的在金属槽药液缸体中直接安装加热管对药液进行加热的方式，容易导致加热管四周温度高、其它区域温度低的现象，致使药液加热不均匀，影响产品沉积速率，尤其是对于封装基板等产品，很容易造成缺陷品，影响成品率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种可感应温度的水循环系统，能够保证药液均匀加热，提高沉积速率的稳定性。

根据本实用新型的第一方面实施例的可感应温度的水循环系统，包括：加热槽，所述加热槽上设有注水管和回流管；集液副槽，所述集液副槽分别与所述注水管和所述回流管连接，所述加热槽、所述回流管、所述集液副槽和所述注水管组成加热循环组件；药液容器，设置在加热槽内；感温组件，包括设置在所述药液容器内的第一温度传感和设置在所述加热槽内的第二温度传感器；加热器，设置在所述集液副槽内。

根据本实用新型实施例的可感应温度的水循环系统，至少具有如下有益效果：可以保证药液温度均匀，保持沉积速率的稳定性；实现均匀温和加热的效果，能够合理设置加热温度，根据实际情况进行合理调整；设置加热循环组件，以水为介质，充分利用水资源，节约用水。

根据本实用新型的一些实施例，还包括有液位感应器，所述液位感应器设置在所述集液副槽上，所述集液副槽上还连接有补液管。

根据本实用新型的一些实施例，还包括有主控器，所述主控器分别与所述第一温度传感、所述第二温度传感器和所述液位感应器电性连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述感温组件还包括设置在所述集液副槽内的第三温度传感器，所述第三温度传感器与所述主控器电性连接。

根据本实用新型的一些实施例，还包括有报警装置，所述报警装置与所述主控器电性连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述补液管上设有自动阀门，所述液位感应器与所述自动阀门电性连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述加热槽和所述药液容器均采用不锈钢制成，所述加热槽的侧壁厚度为5mm，所述药液容器的侧壁厚度为2mm。

根据本实用新型的一些实施例，所述注水管设有三根且设置在所述加热槽底部。

根据本实用新型的一些实施例，所述回流管设置在所述加热槽的中上部，连接在所述加热槽和所述集液副槽之间。

根据本实用新型的一些实施例，所述加热器包括六个加热管，六个所述加热管均匀分布在所述集液副槽内。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型实施例的整体结构示意图；

图2为图1示出的加热槽与药液容器的结构示意图。