[实用新型]一种可感应温度的水循环系统有效
申请号: | 202120391833.0 | 申请日: | 2021-02-20 |
公开(公告)号: | CN214378346U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 陈先明;李志丹;彭建 | 申请(专利权)人: | 珠海越亚半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 郑晨鸣 |
地址: | 519175 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 感应 温度 水循环 系统 | ||
1.一种可感应温度的水循环系统,其特征在于,包括:
加热槽(100),所述加热槽(100)上设有注水管(500)和回流管(600);
集液副槽(200),所述集液副槽(200)分别与所述注水管(500)和所述回流管(600)连接,所述加热槽(100)、所述回流管(600)、所述集液副槽(200)和所述注水管(500)组成加热循环组件;
药液容器(300),设置在加热槽(100)内;
感温组件,包括设置在所述药液容器(300)内的第一温度传感(410)和设置在所述加热槽(100)内的第二温度传感器(420);
加热器(830),设置在所述集液副槽(200)内。
2.根据权利要求1所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,还包括有液位感应器(820),所述液位感应器(820)设置在所述集液副槽(200)上,所述集液副槽(200)上还连接有补液管(700)。
3.根据权利要求2所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,还包括有主控器(800),所述主控器(800)分别与所述第一温度传感(410)、所述第二温度传感器(420)和所述液位感应器(820)电性连接。
4.根据权利要求3所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,所述感温组件还包括设置在所述集液副槽(200)内的第三温度传感器(430),所述第三温度传感器(430)与所述主控器(800)电性连接。
5.根据权利要求3所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,还包括有报警装置(810),所述报警装置(810)与所述主控器(800)电性连接。
6.根据权利要求2所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,所述补液管(700)上设有自动阀门,所述液位感应器(820)与所述自动阀门电性连接。
7.根据权利要求1至6任一项所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,所述加热槽(100)和所述药液容器(300)均采用不锈钢制成,所述加热槽(100)的侧壁厚度为5mm,所述药液容器(300)的侧壁厚度为2mm。
8.根据权利要求1至6任一项所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,所述注水管(500)设有三根且设置在所述加热槽(100)底部。
9.根据权利要求1至6任一项所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,所述回流管(600)设置在所述加热槽(100)的中上部,连接在所述加热槽(100)和所述集液副槽(200)之间。
10.根据权利要求1至6任一项所述的可感应温度的水循环系统,其特征在于,所述加热器(830)包括六个加热管,六个所述加热管均匀分布在所述集液副槽(200)内。
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