[实用新型]晶圆片高温烘烤治具连接结构

说明书

本申请揭示了一种晶圆片高温烘烤治具连接结构，高温烘烤治具包含至少一第一连接板、至少一第二连接板及复数固定单元，第一连接板包含至少一凹槽，第二连接板包含至少一凸部，凸部位置及形状对应于凹槽，第二连接板是由凸部嵌入于第一连接板的凹槽内，复数固定单元锁固第一连接板及第二连接板，使得高温烘烤治具的结构保持固定状态，借此让结构的连接位置不因热涨冷缩而造成固定单元容易松脱。

技术领域

本申请属于一种晶圆片承载治具的技术领域，具体涉及一种须承受高烘烤的治具。

背景技术

如图1，晶圆片在运送或制程中会使用一承载治具1，如一般所称为晶舟盒。承载治具1至少包括位于上、下位置的第一连接板11、位于左右两侧的第二连接板12、以及作为锁固的复数固定件13，在本实施例中固定件13为螺丝。结构中的连接处通常是由固定件13贯穿第一连接件11且锁固于第二连接件12，达到结构的牢固性。但制程中有些晶圆片必须进行高温烘烤，相对地承载治具1就必须承受20～300℃的作业温度。如图2A及图2B所示，在生产过程中承载治具1温度经常在20～300℃之间，热涨冷缩会使构件间产生间隙14，使固定件13经常松动，造成使用中的承载治具1不牢固，此会影响晶圆片生产的良率。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种晶圆片高温烘烤治具连接结构。

申请内容

本申请的目的在于提供一种晶圆片高温烘烤治具连接结构，主要是借由改变连接处的结构形状，增加构件之间的接触面积，增加固持力，避免热涨冷缩所造成构件松动的情形，以解决现有技术中的问题。

为了实现上述目的，本申请一实施例提供的技术方案如下：

一实施例中，提供了一种高温烘烤治具，包含至少一第一连接板、至少一第二连接板及复数固定单元，第一连接板包含至少一凹槽，第二连接板包含至少一凸部，凸部位置及形状对应于凹槽，第二连接板是由凸部嵌入第一连接板的凹槽内，复数固定单元锁固第一连接板及第二连接板，使得高温烘烤治具的结构保持固定状态。

作为较佳优选实施方案之一，凹槽在第一连接板的表面形成一开口，凹槽剖面中开口尺寸小于凹槽内的宽度。

作为较佳优选实施方案之一，凹槽采用渐进式或阶梯式的方式向凹槽内扩张。

作为较佳优选实施方案之一，凸部由第二连接板相对两表面的至少其中之一表面延伸形成。

作为较佳优选实施方案之一，凸部由第二连接板的相对两表面分别延伸相同的距离，且凸部与第二连接板形状成为对称的T型体或是对称的梯形结构。

作为较佳优选实施方案之一，凸部凸出于第二连接板相对两表面的其中之一，且凸部与第二连接板形状成为L型体或是不对称的梯形结构。

作为较佳优选实施方案之一，凸部分别在第二连接板的相对两表面各延伸出不同的距离，且凸部与第二连接板形状成为不对称的T型体或是不对称的梯形结构。

作为较佳优选实施方案之一，高温烘烤治具的作业温度介于20℃～300℃之间。

作为较佳优选实施方案之一，第二连接板包含复数层片，复数层片用于承载复数晶圆片。

与现有技术相比，本申请具有下列具体的功效：

1、本申请利用第二连接板的凸部嵌入第一连接板的凹槽内，增加构件之间的接触面积来增加牢固性。

2、本申请利用第二连接板的凸部嵌入第一连接板的凹槽内，能避免热涨冷缩所造成的固定单元松脱情形。

3、本申请利用第二连接板的凸部嵌入第一连接板的凹槽内，解决因温度变化导致构件松动的问题，增加高温烘烤治具的妥善率及可靠度。