[实用新型]半导体清洗设备及其门结构

说明书

本实用新型提供一种半导体清洗设备及其门结构，该门结构包括密封盒、门板和驱动件，密封盒、门板和驱动件均设置在半导体清洗设备的工艺模块内，工艺模块上开设有供传输部件进出工艺模块的开口；密封盒固定设置在开口的一侧；驱动件密封设置在密封盒内，且与位于密封盒外的门板连接，用于驱动门板移动，遮挡或显露开口。应用本实用新型，其驱动组件与门板之间的距离较近，省去或缩短了较长的悬臂结构，提升了该门结构的的运动稳定性和响应速度。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地，涉及一种半导体清洗设备及其门结构。

背景技术

晶圆清洗机一般由多个功能和工艺方法不同的模块组成，通常采用机械手带着晶圆在清洗机中的各工艺模块中穿行。但是，有些工艺模块需进行刻蚀工艺，所以用到的工艺药液有腐蚀性，而有些工艺模块为防止对晶圆造成损伤，会严格要求不能有腐蚀性药液进入，所以，需要有一个能够开启和关闭的门挡板(又称之为Shutter)，当机械手经过相邻的两个工艺模块时，可以开启该门挡板使机械手通过，当无机械手经过时，该门挡板可处于常闭状态，以隔绝相邻两个工艺模块中的挥发性工艺药液。

如图1所示，为现有的门结构应用在某工艺模块020上的示意图，该门结构包括门体03和驱动装置01，其中，驱动装置01用于驱动门体03上下移动，以遮挡和显露工艺模块020上的开口021。且为了防止驱动装置1会被工艺药液产生的挥发性气体所腐蚀，驱动装置01通常设置在工艺模块以外的区域。如此，驱动装置01和门体03之间具有一定的距离，需要一个较长的悬臂02进行连接。由于各工艺模块结构不同，所需的悬臂02的长短也不尽相同，且悬臂02的长度越长则门体03的运动越不稳定。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体清洗设备及其门结构，其驱动组件与门板之间的距离较近，省去或缩短了较长的悬臂结构，提升了该门结构的运动稳定性和响应速度。

为实现本实用新型的目的，第一方面提供一种半导体清洗设备的门结构，所述门结构包括密封盒、门板和驱动件，所述密封盒、所述门板和所述驱动件均设置在所述半导体清洗设备的工艺模块内，所述工艺模块上开设有供传输部件进出所述工艺模块的开口；

所述密封盒固定设置在所述开口的一侧；

所述驱动件密封设置在所述密封盒内，且与位于所述密封盒外的所述门板连接，用于驱动所述门板移动，遮挡或显露所述开口。

可选地，所述驱动件包括驱动源和旋转组件，所述驱动源设置在所述密封盒的侧壁上，所述旋转组件分别与所述驱动源和所述门板连接，所述旋转组件用于在所述驱动源的驱动下带动所述门板旋转。

可选地，所述旋转组件包括连杆和旋转轴，所述连杆的一端与所述驱动源的伸缩杆铰接，另一端与所述旋转轴连接，所述旋转轴可转动地穿过所述侧壁，并与所述门板连接；

所述驱动源通过所述伸缩杆提供线性驱动力，驱动所述连杆旋转，带动所述旋转轴和所述门板绕所述旋转轴的中轴线旋转。

可选地，所述侧壁上开设有通孔，所述通孔中设置有密封轴套，所述旋转轴穿设在所述密封轴套中。

可选地，还包括保护罩，所述保护罩与所述密封盒连接，与所述密封盒配合形成容置空间，所述保护罩的侧面设置有供所述门板通过的敞口，所述门板被旋转至显露所述开口时，位于所述容置空间中。

可选地，所述密封盒的与设置有所述驱动源的侧壁相对的另一侧壁上开设有检修口，所述检修口上设置有可拆卸的用于封闭所述检修口的检修口面板。

可选地，所述门板包括第一子门板和第二子门板，所述第一子门板和所述第二子门板沿所述开口的长度方向并列设置，沿所述门板的厚度方向层叠设置；

沿所述开口的长度方向间隔设置有两个所述驱动件，且分别与所述第一子门板和所述第二子门板连接。