[实用新型]半导体清洗设备及其门结构

权利要求书

1.一种半导体清洗设备的门结构，其特征在于，所述门结构包括密封盒、门板和驱动件，所述密封盒、所述门板和所述驱动件均设置在所述半导体清洗设备的工艺模块内，所述工艺模块上开设有供传输部件进出所述工艺模块的开口；

所述密封盒固定设置在所述开口的一侧；

所述驱动件密封设置在所述密封盒内，且与位于所述密封盒外的所述门板连接，用于驱动所述门板移动，遮挡或显露所述开口。

2.根据权利要求1所述的门结构，其特征在于，所述驱动件包括驱动源和旋转组件，所述驱动源设置在所述密封盒的侧壁上，所述旋转组件分别与所述驱动源和所述门板连接，所述旋转组件用于在所述驱动源的驱动下带动所述门板旋转。

3.根据权利要求2所述的门结构，其特征在于，所述旋转组件包括连杆和旋转轴，所述连杆的一端与所述驱动源的伸缩杆铰接，另一端与所述旋转轴连接，所述旋转轴可转动地穿过所述侧壁，并与所述门板连接；

所述驱动源通过所述伸缩杆提供线性驱动力，驱动所述连杆旋转，带动所述旋转轴和所述门板绕所述旋转轴的中轴线旋转。

4.根据权利要求3所述的门结构，其特征在于，所述侧壁上开设有通孔，所述通孔中设置有密封轴套，所述旋转轴穿设在所述密封轴套中。

5.根据权利要求1-4任一项所述的门结构，其特征在于，还包括保护罩，所述保护罩与所述密封盒连接，与所述密封盒配合形成容置空间，所述保护罩的侧面设置有供所述门板通过的敞口，所述门板被旋转至显露所述开口时，位于所述容置空间中。

6.根据权利要求2所述的门结构，其特征在于，所述密封盒的与设置有所述驱动源的侧壁相对的另一侧壁上开设有检修口，所述检修口上设置有可拆卸的用于封闭所述检修口的检修口面板。

7.根据权利要求1-4中任意一项所述的门结构，其特征在于，所述门板包括第一子门板和第二子门板，所述第一子门板和所述第二子门板沿所述开口的长度方向并列设置，沿所述门板的厚度方向层叠设置；

沿所述开口的长度方向间隔设置有两个所述驱动件，且分别与所述第一子门板和所述第二子门板连接。

8.根据权利要求7所述的门结构，其特征在于，所述第一子门板和所述第二子门板均呈矩形，两个所述驱动件分别在所述第一子门板和所述第二子门板的一个角处与其连接。

9.根据权利要求3所述的门结构，其特征在于，所述驱动源包括气缸基座和驱动气缸，所述气缸基座与所述侧壁固定连接，所述驱动气缸一端与所述气缸基座连接，另一端设置有所述伸缩杆。

10.一种半导体清洗设备，包括至少两个工艺模块和设置在所述工艺模块中的门结构，其特征在于，所述门结构为如权利要求1-9任意一项所述的门结构。